本文關(guān)鍵詞： 卡爾曼(Kalman)濾波 六位置法 微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì) 安裝誤差 標(biāo)定　出處：《壓電與聲光》2016年01期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：加速度計(jì)的零偏、刻度因子、安裝誤差都會(huì)影響加速度計(jì)的精度。以微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)為實(shí)驗(yàn)對(duì)象,采用卡爾曼(Kalman)濾波對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波,結(jié)合六位置法得到MEMS加速度計(jì)的零偏、刻度因子、安裝誤差與MEMS加速度計(jì)測(cè)量值的關(guān)系,最終獲得基于Kalman濾波和六位置法的MEMS加速度計(jì)標(biāo)定補(bǔ)償數(shù)學(xué)模型。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明,補(bǔ)償后MEMS加速度計(jì)的輸出值更接近標(biāo)準(zhǔn)值,且加速度計(jì)解算俯仰角(-90°~+90°)的絕對(duì)誤差由補(bǔ)償前的1°經(jīng)補(bǔ)償后減小為0.34°。驗(yàn)證了該標(biāo)定補(bǔ)償算法的可行性,對(duì)提高M(jìn)EMS加速度計(jì)測(cè)量精度有較好的理論和工程應(yīng)用價(jià)值。
[Abstract]:The precision of accelerometer is affected by zero bias, calibration factor and installation error of accelerometer. Taking the accelerometer of micro-mechanical system (MEMS) as experimental object, Kalman Kalman filter is used to filter the experimental data. The relationship between zero offset, calibration factor, installation error and MEMS accelerometer measurement value of MEMS accelerometer is obtained by combining six position method. Finally, the calibration and compensation mathematical model of MEMS accelerometer based on Kalman filter and six position method is obtained. The output value of the MEMS accelerometer after compensation is closer to the standard value, and the absolute error of the accelerometer in calculating pitch angle is reduced from 1 擄before compensation to 0.34 擄. The feasibility of the calibration and compensation algorithm is verified. It has good theoretical and engineering application value to improve the measuring accuracy of MEMS accelerometer.
【作者單位】： 重慶郵電大學(xué)光電信息感測(cè)與傳輸技術(shù)重慶市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51175535) MEMS振動(dòng)傳感與微姿態(tài)組合測(cè)井技術(shù)國(guó)際聯(lián)合研究中心科技平臺(tái)與基地建設(shè)基金資助項(xiàng)目(cstc2014gjhz0038)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4

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本文編號(hào)：1550479