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氦質(zhì)譜細(xì)漏檢測最長候檢時間的定量拓展

發(fā)布時間:2018-01-26 08:44

  本文關(guān)鍵詞: 氦質(zhì)譜 細(xì)漏檢測 最長候檢時間 定量拓展 出處:《中國電子科學(xué)研究院學(xué)報(bào)》2015年06期  論文類型:期刊論文


【摘要】:通過論證和推演,對各種氦質(zhì)譜細(xì)漏檢測方法給出了當(dāng)細(xì)漏氦氣測量漏率判據(jù)R_(max)小于粗漏判據(jù)相應(yīng)的氦氣測量漏率判據(jù)R_(0max)時,定量拓展細(xì)漏檢測最長候檢時間的公式,并給出了保持被檢件內(nèi)部氦氣分氣壓不低于0.9倍的正?諝庵泻夥謿鈮篜_(HeO)的方法。
[Abstract]:Through the demonstration and deduction of helium leakage detection method is given when the leakage of helium leak rate measurement criterion R_ (max) is less than the corresponding criterion for measuring crude helium leakage rate criterion R_ (0max), fine leak detection quantitative expansion the longest waiting time formula is given for preserving normal helium air a helium inside partial pressure of not less than 0.9 times in the air P_ (HeO) method.

【作者單位】: 北京市科通電子繼電器總廠有限公司;
【分類號】:TH843
【正文快照】: 0弓I言 2013、2014年申請的發(fā)明專利[1_4]提出了定量 確定氦質(zhì)譜細(xì)漏檢測最長候檢時間的方法。基于密 封件內(nèi)外氣體交換的分子流模式,在參考文獻(xiàn)[5] 中論證推演了定量確定壓氦法和預(yù)充氦法最長候檢 時間的公式,并在參考文獻(xiàn)[6]中應(yīng)用于固定方案的設(shè)計(jì);在參考文獻(xiàn)[7]中給出了

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本文編號:1465199

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