本文關(guān)鍵詞：用于掃描探針電子能譜儀的掃描隧道顯微鏡　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報》2016年11期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：掃描探針電子能譜學(xué)是正在發(fā)展中的一種結(jié)合了掃描隧道顯微技術(shù)的電子能譜學(xué)技術(shù),可以原位地獲得固體表面的形貌和能譜信息。本文針對新研制的掃描探針電子能譜儀專門設(shè)計制作了一臺采用橫向隧道結(jié)結(jié)構(gòu)、小巧緊湊、穩(wěn)定對稱的掃描隧道顯微鏡,可以工作在隧道區(qū)測量樣品表面形貌,也可以在近場發(fā)射區(qū)測量表面背散射電子能譜。在高定向熱解石墨和石墨基底上蒸鍍的銀膜樣品的得到的原子分辨、納米結(jié)構(gòu)圖像和原位電子能量損失譜表明這兩種功能已完全實現(xiàn)。
[Abstract]:Scanning probe Electron Spectroscopy (SEM) is a newly developed technique which combines scanning tunneling microscopy (STM) with scanning tunneling microscopy (STM). The morphology and energy spectrum information of solid surface can be obtained in situ. In this paper, a new scanning probe electron energy spectrometer is designed and fabricated, which is compact and compact with a transverse tunnel junction structure. The stable and symmetrical scanning tunneling microscope can work in the tunnel area to measure the surface morphology of the sample. Surface backscatter electron spectra can also be measured in the near field emission region. Atomic resolution of silver film samples evaporated on highly oriented pyrolytic graphite and graphite substrates can also be measured. The nanostructure images and in situ electron energy loss spectra show that these two functions have been fully realized.
【作者單位】： 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系和合肥微尺度物質(zhì)科學(xué)國家實驗室(籌);
【基金】：國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(973計劃)(2010CB923301) 國家自然科學(xué)基金項目(11174268,11327404)
【分類號】：TH742;TH842
【正文快照】： 電子能譜學(xué)技術(shù)是表面分析中的一種重要方法,可以幫助我們獲得固體表面的物理化學(xué)信息。但大部分情況下,所獲得的信息是一種“集體效應(yīng)”。當(dāng)需要了解諸如單個納米粒子等離激元或單分子激發(fā)等“局域信息”時,則需要電子能譜測量具有一定的空間分辨能力[1]。與以高速電子束為探

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本文編號：1425933