本文關(guān)鍵詞：激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制　出處：《機(jī)械工程學(xué)報》2016年03期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 干涉儀 位移測量 干涉條紋 溯源性 測量范圍 參考信號 儀器化 折射率測量 相關(guān)技術(shù) 非線性誤差

【摘要】：正本文采用合成波長干涉條紋細(xì)分原理,提出激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制,以檢測參考鏡毫米或微米級的位移來表征測量鏡納米級的微小位移,并利用單波長干涉信號作為標(biāo)記參考信號,在同一干涉儀中實現(xiàn)了毫米量程測量范圍和納米級精度位移的同時測量,且具有米溯源性。詳細(xì)研究了激光合成波長干涉實現(xiàn)大范圍納米位移測量的方法及其儀器化的相關(guān)技術(shù),主要研究工作和創(chuàng)新點如下。
[Abstract]:Is the synthetic wavelength interference fringe subdivision principle, development of laser synthetic wavelength displacement measurement interferometer is proposed, the displacement detection reference mirror mm or micron to nanometer grade micro displacement measuring microscope characterization, and the use of single wavelength interference signal as a reference signal marker, in the same interferometer can measure mm the range of measurement range and nano precision displacement at the same time, and has rice traceability. A detailed study of the laser synthetic wavelength related technologies to achieve a wide range of methods of nano displacement measurement and instrument of interference, the main research work and innovations are as follows.

【作者單位】： 浙江理工大學(xué);
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 本文采用合成波長干涉條紋細(xì)分原理,提出激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制,以檢測參考鏡毫米或微米級的位移來表征測量鏡納米級的微小位移,并利用單波長干涉信號作為標(biāo)記參考信號,在同一干涉儀中實現(xiàn)了毫米量程測量范圍和納米級精度位移的同時測量,且具有米溯源性。詳細(xì)

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 許春蘭;柯氏干涉儀的技術(shù)改造[J];工具技術(shù);2002年07期

2 曹曉君,張學(xué)軍,李艷紅;光纖點衍射干涉儀調(diào)整方法與條紋分析[J];光機(jī)電信息;2003年03期

3 孟克,包建新,劉鵬;光纖微分干涉儀檢測地下水管泄漏的方法[J];應(yīng)用科技;2005年05期

4 洪廣偉,賈波;用于多點測試的全光纖速度干涉儀研究[J];中國激光;2005年08期

5 周亞強(qiáng),皇甫堪;噪擾條件下數(shù)字式多基線相位干涉儀解模糊問題[J];通信學(xué)報;2005年08期

6 嚴(yán)高師,張志勇;探測微弱信號的雙楔形干涉儀的結(jié)構(gòu)分析[J];電子科技大學(xué)學(xué)報;2005年05期

7 姜巍,陳林,何安,吳守東,徐敏,戴文峰,姚斌,李曄;一種用于脈沖等離子體電子密度測量的高靈敏度干涉儀[J];中國激光;2005年09期

8 周亞強(qiáng),陳翥,皇甫堪,孫仲康;噪擾條件下多基線相位干涉儀解模糊算法[J];電子與信息學(xué)報;2005年02期

9 路建新;單玉生;周創(chuàng)志;湯秀章;;用于狀態(tài)方程測量的光學(xué)記錄速度干涉儀系統(tǒng)[J];原子能科學(xué)技術(shù);2006年02期

10 何祖斌;許喬;柴立群;鄧燕;;移相干涉儀的抗振技術(shù)研究進(jìn)展[J];光學(xué)技術(shù);2007年03期

相關(guān)會議論文 前10條

1 于杰;張海濤;;相移點衍射干涉儀重復(fù)性研究[A];第十四屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2012年

2 楊俊麒;鄒暉;胡毅;;延遲干涉儀原理及控制方法[A];2009年中國高校通信類院系學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2009年

3 別業(yè)廣;熊俊松;;德布羅意波及原子波干涉儀[A];湖北省物理學(xué)會、武漢物理學(xué)會2004’學(xué)術(shù)年會論文集[C];2004年

4 王鳴;郭冬梅;;基于修正相移技術(shù)的激光自混合干涉儀[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會光電技術(shù)專業(yè)委員會成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

5 耿生群;吳嗣亮;;載波相位誤差對干涉儀的影響及糾正方法[A];第三屆全國信息獲取與處理學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

6 劉景峰;李艷秋;劉克;;移相式點衍射干涉儀的幾個關(guān)鍵技術(shù)[A];2007'中國儀器儀表與測控技術(shù)交流大會論文集（一）[C];2007年

7 唐遠(yuǎn)河;郜海陽;段曉東;賈奇杰;屈歐陽;曹顯剛;;地基氣輝成像干涉儀的研制[A];第十四屆全國日地空間物理學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2011年

8 袁群;高志山;周宇軒;褚光;;基于數(shù)值模擬的點衍射干涉儀移相算法研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

9 袁群;高志山;;點衍射干涉儀中高精度移相算法分析[A];第十三屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2010年

10 王輝;;點衍射干涉儀高重復(fù)性檢測支撐設(shè)備研制[A];第十三屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2010年

相關(guān)重要報紙文章 前3條

1 王小龍;可在室溫下工作的量子干涉儀問世[N];科技日報;2010年

2 胡勝友;華裔科學(xué)家發(fā)現(xiàn)新行星[N];大眾科技報;2006年

3 通訊員　 胡勝友 記者　 李凝;華裔科學(xué)家發(fā)現(xiàn)一顆繞幼年恒星轉(zhuǎn)的行星[N];科技日報;2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前6條

1 封皓;基于雙Mach-Zehnder干涉儀結(jié)構(gòu)的光纖管道安全預(yù)警系統(tǒng)建模及定位研究[D];天津大學(xué);2011年

2 施宇鋒;星載紅外光譜儀干涉分系統(tǒng)的控制技術(shù)研究[D];華中科技大學(xué);2012年

3 汪麗;干涉法大氣風(fēng)場探測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（西安光學(xué)精密機(jī)械研究所）;2007年

4 陳華;高精度面形檢測中環(huán)境擾動因素分析[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

5 李振華;實現(xiàn)渦旋光束及光強(qiáng)圖樣調(diào)制的多孔干涉儀設(shè)計研究[D];山東師范大學(xué);2014年

6 陳偉;固體系統(tǒng)中電子糾纏的產(chǎn)生及探測[D];南京大學(xué);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 陶金泉;毫米波干涉儀信號處理研究[D];南京理工大學(xué);2009年

2 許靜靜;多普勒光纖速度干涉儀的研究[D];北京交通大學(xué);2011年

3 吳仁安;移相式紅外泰曼干涉儀的研究與應(yīng)用[D];南京理工大學(xué);2003年

4 劉玉圣;高精度線性衍射光柵干涉儀系統(tǒng)的研制[D];合肥工業(yè)大學(xué);2006年

5 蓋宇龍;基于耦合諧振腔干涉儀的相位調(diào)制技術(shù)[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

6 張城;點衍射干涉儀關(guān)鍵器件設(shè)計與基準(zhǔn)波前分析[D];南京理工大學(xué);2014年

7 莊嚴(yán);ф600mm干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的檢測與分析方法研究[D];南京理工大學(xué);2011年

8 朱曉亮;利用光纖馬赫曾德干涉儀實現(xiàn)的光學(xué)雙穩(wěn)性研究[D];黑龍江大學(xué);2007年

9 楊亞良;光纖插針三維形貌與幾何參數(shù)檢測干涉儀的研制[D];浙江大學(xué);2005年

10 楊珂;基于共光路干涉技術(shù)的光纖傳感系統(tǒng)研究[D];安徽大學(xué);2012年

，

本文編號：1418891