本文關(guān)鍵詞：TOF-SIMS二次離子檢測(cè)技術(shù)研究　出處：《吉林大學(xué)》2016年博士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜 二次離子 質(zhì)量分析器 離子束斑 離子檢測(cè)

【摘要】：飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)是重要的表面化學(xué)分析手段之一,可用于多種固體樣品的直接分析。二次離子檢測(cè)是TOF-SIMS核心技術(shù),增加質(zhì)量分析器的傳輸效率可提高TOF-SIMS分析精度,但同時(shí)會(huì)引入調(diào)試?yán)щy、譜峰重疊等問題。本文對(duì)TOF-SIMS二次離檢測(cè)技術(shù)展開深入了研究,包括:研制出一種單次反射無柵網(wǎng)飛行時(shí)間質(zhì)量分析器,采用無柵網(wǎng)反射鏡技術(shù),增加了離子傳輸效率。針對(duì)TOF-SIMS二次離子束斑檢測(cè)方法存在的工序繁瑣、效率低下等問題,提出一種多角度切割線相圍成圖法,可對(duì)離子束斑進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)。針對(duì)TOF-SIMS存在的譜峰重疊現(xiàn)象,基于TOF-SIMS譜峰特點(diǎn),提出一種特征峰形匹配的重疊譜峰分離方法。完成TOF-SIMS應(yīng)用測(cè)試的實(shí)驗(yàn)研究,包含銅合金的表面元素相對(duì)含量分析與固體金屬銀的同位素測(cè)量。
[Abstract]:Time of flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is one of the important surface chemical analysis methods, which can be used for the direct analysis of many solid samples. Secondary ion detection is the core technology of TOF-SIMS. Increasing the transmission efficiency of the quality analyzer can improve the accuracy of TOF-SIMS analysis, but at the same time, it will introduce debugging difficulties. In this paper, the TOF-SIMS secondary separation detection technology is deeply studied, including: a single reflection grid free time-of-flight quality analyzer is developed, and the grid free mirror technique is adopted. The efficiency of ion transport is increased. Aiming at the problems of complicated working procedure and low efficiency of TOF-SIMS secondary ion beam spot detection method, a multi-angle cutting line phase mapping method is proposed. The ion beam spot can be detected in real time. In view of the overlapping phenomenon of spectrum peak in TOF-SIMS, the characteristic of TOF-SIMS peak can be used. An overlapping peak separation method for matching characteristic peaks is proposed, and the experimental study of TOF-SIMS application is completed, including the analysis of the relative content of surface elements of copper alloy and the isotopic measurement of silver in solid metal.
【學(xué)位授予單位】：吉林大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：博士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TH843

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本文編號(hào)：1397677