本文關(guān)鍵詞：基于閉環(huán)點(diǎn)位置控制的硅微梳齒式加速度計(jì)溫漂抑制方法　出處：《中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào)》2014年01期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：環(huán)境溫度的變化會(huì)造成硅微加速度計(jì)檢測(cè)電路輸出漂移,從而使加速度計(jì)敏感質(zhì)量的閉環(huán)點(diǎn)位置產(chǎn)生漂移。通過(guò)分析閉環(huán)點(diǎn)位置對(duì)加速度計(jì)標(biāo)度因素K1和零偏K0的影響,證明了閉環(huán)點(diǎn)位置漂移是造成零偏K0溫漂的主要因素和標(biāo)度因素K1溫漂的次要因素。提出了加速度計(jì)閉環(huán)點(diǎn)位置控制方法,通過(guò)在環(huán)內(nèi)加入控制電壓可使閉環(huán)點(diǎn)始終工作于穩(wěn)定位置。試驗(yàn)結(jié)果證明,該方法可顯著降低零偏K0的溫漂,閉環(huán)點(diǎn)始終位于零反饋位置時(shí)零偏K0的溫漂系數(shù)可降低一個(gè)數(shù)量級(jí),且溫漂滯環(huán)可被壓縮至±1 mV(±7.77 mg)以?xún)?nèi)。
[Abstract]:The change of ambient temperature will cause the output drift of silicon micro-accelerometer detection circuit. The effect of closed loop position on the scaling factor K1 and zero offset K0 of accelerometer is analyzed. It is proved that the position drift of closed loop points is the main factor of temperature drift of zero offset K0 and the minor factor of temperature drift of scale factor K1. A closed loop point position control method of accelerometer is proposed. By adding control voltage to the loop, the closed loop point can always work in a stable position. The experimental results show that the temperature drift of zero offset K0 can be significantly reduced by this method. The temperature drift coefficient of zero bias K0 can be reduced by one order of magnitude when the closed loop is always located at zero feedback position, and the hysteresis loop of temperature drift can be compressed to 鹵1 MV (鹵7.77 mg).
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;總參陸航研究所;
【基金】：總裝“十二五”預(yù)研項(xiàng)目(513090203**)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 硅微加速度計(jì)按照敏感元件檢測(cè)方式可分為:電容式、壓阻式、電感式、壓電式、熱對(duì)流式、諧振梁式、隧道電流式、冷原子式等[1]。與其他類(lèi)型的傳感器相比MEMS慣性?xún)x表具有尺寸小、可靠性高、低功耗、低成本以及環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),在民用和軍事的諸多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[2-5

【參考文獻(xiàn)】

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1 胡m;董景新;蔡辛;劉云峰;;二極管電容檢測(cè)用于微加速度計(jì)的誤差分析[J];清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年11期

2 徐哲;劉云峰;董景新;;MEMS加速度計(jì)溫漂預(yù)測(cè)補(bǔ)償模型[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2012年05期

【共引文獻(xiàn)】

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1 王文明;王立權(quán);王才東;趙冬巖;何寧;;深海管道位姿測(cè)量系統(tǒng)的誤差源分析[J];深圳大學(xué)學(xué)報(bào)(理工版);2013年05期

2 楊杰;吳文啟;練軍想;劉偉;;基于迭代估計(jì)的三軸加速度計(jì)溫度模型參數(shù)外場(chǎng)標(biāo)定方法[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2013年04期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 李疆,董景新,高鐘毓;激勵(lì)電壓對(duì)梳齒式加速度計(jì)系統(tǒng)的影響[J];清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2004年11期

【相似文獻(xiàn)】

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2 楊雁,滕召勝;數(shù)字溫度傳感器LM92在電子天平中的應(yīng)用[J];儀表技術(shù);2002年06期

3 鄭建國(guó);基于新型補(bǔ)償原理的稱(chēng)重顯示儀表[J];儀表技術(shù);1996年06期

4 陸陽(yáng),韓江洪,魏臻,張維勇;鉑電阻測(cè)溫系統(tǒng)溫度補(bǔ)償方法[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2000年03期

5 賀曉雷;鉑電阻測(cè)溫儀器溫漂問(wèn)題的研究[J];氣象水文海洋儀器;2000年01期

6 張曉芳,俞信,蔣誠(chéng)志,王寶光;位置敏感探測(cè)器PSD特性的試驗(yàn)研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2003年S1期

7 滕召勝,郁文賢,夏勝平;電子分析天平溫漂與時(shí)漂的自動(dòng)補(bǔ)償[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2000年03期

8 郭和平;蔡萍;;高精度酸度計(jì)制作過(guò)程中的質(zhì)量控制技術(shù)[J];計(jì)量技術(shù);2006年03期

9 廖永貴;;基于AD9833的超聲潔牙機(jī)的設(shè)計(jì)[J];山東理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2009年06期

10 楊霞;;避免溫漂對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響[J];企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化;2006年09期

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2 廖俊峰;潘菊初;;伺服執(zhí)行機(jī)構(gòu)測(cè)試儀的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[A];第八屆工業(yè)儀表與自動(dòng)化學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

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2 桑雷;基于Raman散射分布式光纖測(cè)溫系統(tǒng)中APD器件的溫漂研究[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2013年

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本文編號(hào)：1387663