本文關(guān)鍵詞：基于閉環(huán)點位置控制的硅微梳齒式加速度計溫漂抑制方法　出處：《中國慣性技術(shù)學(xué)報》2014年01期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：環(huán)境溫度的變化會造成硅微加速度計檢測電路輸出漂移,從而使加速度計敏感質(zhì)量的閉環(huán)點位置產(chǎn)生漂移。通過分析閉環(huán)點位置對加速度計標(biāo)度因素K1和零偏K0的影響,證明了閉環(huán)點位置漂移是造成零偏K0溫漂的主要因素和標(biāo)度因素K1溫漂的次要因素。提出了加速度計閉環(huán)點位置控制方法,通過在環(huán)內(nèi)加入控制電壓可使閉環(huán)點始終工作于穩(wěn)定位置。試驗結(jié)果證明,該方法可顯著降低零偏K0的溫漂,閉環(huán)點始終位于零反饋位置時零偏K0的溫漂系數(shù)可降低一個數(shù)量級,且溫漂滯環(huán)可被壓縮至±1 mV(±7.77 mg)以內(nèi)。
[Abstract]:The change of ambient temperature will cause the output drift of silicon micro-accelerometer detection circuit. The effect of closed loop position on the scaling factor K1 and zero offset K0 of accelerometer is analyzed. It is proved that the position drift of closed loop points is the main factor of temperature drift of zero offset K0 and the minor factor of temperature drift of scale factor K1. A closed loop point position control method of accelerometer is proposed. By adding control voltage to the loop, the closed loop point can always work in a stable position. The experimental results show that the temperature drift of zero offset K0 can be significantly reduced by this method. The temperature drift coefficient of zero bias K0 can be reduced by one order of magnitude when the closed loop is always located at zero feedback position, and the hysteresis loop of temperature drift can be compressed to 鹵1 MV (鹵7.77 mg).
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;總參陸航研究所;
【基金】：總裝“十二五”預(yù)研項目(513090203**)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 硅微加速度計按照敏感元件檢測方式可分為:電容式、壓阻式、電感式、壓電式、熱對流式、諧振梁式、隧道電流式、冷原子式等[1]。與其他類型的傳感器相比MEMS慣性儀表具有尺寸小、可靠性高、低功耗、低成本以及環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點,在民用和軍事的諸多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[2-5

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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