本文關(guān)鍵詞：大型光學(xué)表面納米精度制造　出處：《國防科技大學(xué)學(xué)報(bào)》2015年06期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 納米精度制造 光學(xué)制造 可控柔體拋光 磁流變拋光 離子束拋光

【摘要】：納米精度光學(xué)表面在光刻技術(shù)、同步輻射、空間觀測(cè)和慣約聚變等領(lǐng)域有重大需求。隨著裝備性能需求的不斷提升,這些光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)零件面形精度和表面質(zhì)量的要求幾乎接近于物理極限,對(duì)光學(xué)制造技術(shù)提出了更高挑戰(zhàn),使光學(xué)制造成為納米制造技術(shù)的發(fā)展前沿。通過攻克納米量級(jí)材料去除的穩(wěn)定性、復(fù)雜曲面可控補(bǔ)償和裝備運(yùn)動(dòng)軸性能設(shè)計(jì)等關(guān)鍵問題,掌握了以磁流變和離子束拋光技術(shù)為代表的可控柔體拋光技術(shù),利用自主研發(fā)的拋光制造裝備和工藝實(shí)現(xiàn)了典型光學(xué)零件的納米精度制造,為國家相關(guān)科技項(xiàng)目的順利實(shí)施提供有力的制造技術(shù)支撐。
[Abstract]:Nano-precision optical surfaces have great demand in lithography, synchrotron radiation, space observation and inertial fusion. The requirements of these optical systems for the surface shape accuracy and surface quality of optical parts are close to the physical limit, which poses a higher challenge to the optical manufacturing technology. Optical manufacturing has become the development frontier of nano-manufacturing technology. The key issues such as the stability of nanoscale material removal, the controllable compensation of complex surfaces and the performance design of moving axis of equipment are solved. The controllable flexible body polishing technology represented by magnetorheological and ion beam polishing technology is mastered. The nano precision manufacturing of typical optical parts is realized by using the polishing equipment and process developed by ourselves. To provide a strong manufacturing technology support for the smooth implementation of national related science and technology projects.
【作者單位】： 國防科技大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;超精密加工技術(shù)湖南省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51275521) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才資助計(jì)劃項(xiàng)目(NCET-12-0144)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 現(xiàn)代光學(xué)零件具有大口徑、(亞)納米精度、形狀復(fù)雜、表面低損傷等特點(diǎn),在空間觀測(cè)、微電子制造、慣約聚變、同步輻射等重大光學(xué)工程中有著廣泛應(yīng)用,其制造水平直接影響國家的核心競(jìng)爭(zhēng)力。光學(xué)零件高端加工技術(shù)和裝備也被美國等西方發(fā)達(dá)國家視為戰(zhàn)略資源,嚴(yán)格限制出口。因此,開

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本文編號(hào)：1356842