本文關(guān)鍵詞：在金屬基底上制作高深寬比金屬微光柵的方法　出處：《光學(xué)精密工程》2015年03期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 金屬微光柵 高深寬比 UV-LIGA工藝 SU-厚膠 微電鑄

【摘要】：根據(jù)光學(xué)領(lǐng)域?qū)Ω呱顚挶冉饘傥⑵骷男枨?利用UV-LIGA工藝在金屬基底上制作了具有高深寬比的金屬微光柵。采用分層曝光、一次顯影的方法制作了微電鑄用SU-8膠厚膠膠模,解決了高深寬比厚膠膠模制作困難的問題。由于電鑄時間長易導(dǎo)致鑄層缺陷,故采取分次電鑄等措施得到了電鑄光柵結(jié)構(gòu);同時通過線寬補(bǔ)償?shù)姆椒ń鉀Q了溶脹引起的線寬變小問題。在去膠工序中,采用"超聲-浸泡-超聲"循環(huán)往復(fù)的方法。最終,制作了周期為130μm、凸臺長寬高為900μm×65μm×243μm的金屬微光柵,其深寬比達(dá)到5,尺寸相對誤差小于1%,表面粗糙度小于6.17nm。本文提出的工藝方法克服了現(xiàn)有方法制作金屬微光柵時高度有限、基底易碎等局限性,為在金屬基底上制作高深寬比金屬微光柵提供了一種可行的工藝參考方案。
[Abstract]:......
【作者單位】： 大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;大連理工大學(xué)遼寧省微納米及系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51375077,No.51075057)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言作為光學(xué)儀器核心單元器件之一,金屬微光柵不僅可用于光譜測量,還被廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn),尤其在計(jì)量、無線電天文學(xué)、集成光學(xué)、光通信、信息處理等諸多領(lǐng)域有著重要應(yīng)用[1]。隨著金屬微光柵需求量不斷增長,其加工制作方法越來越受到科研人員關(guān)注�，F(xiàn)有的金屬微光柵的制

【參考文獻(xiàn)】

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4 鄭改革;陳云云;徐林華;賴敏;;高深寬比金屬光柵制備及中紅外波段傳感特性[J];紅外與毫米波學(xué)報(bào);2013年02期

5 杜立群;朱神渺;劉沖;;UV-LIGA工藝中SU-8光刻膠的熱溶脹性研究[J];壓電與聲光;2008年05期

【共引文獻(xiàn)】

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1 杜立群;郭照沛;張曉蕾;;交聯(lián)SU-8光刻膠與Ni基底結(jié)合性的分子動力學(xué)模擬[J];高分子學(xué)報(bào);2010年06期

2 胡洋洋;朱荻;李寒松;曲寧松;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作超高微細(xì)陣列電極技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2010年03期

3 杜立群;劉亞萍;李永輝;李成斌;;超聲處理對UV-LIGA工藝中SU-8膠溶脹的影響[J];光學(xué)精密工程;2012年09期

4 馬雅麗;劉文開;劉沖;杜立群;;UV-LIGA技術(shù)在制作細(xì)胞培養(yǎng)器微注塑模具型腔中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2013年05期

5 呂江濤;楊琳娟;谷瓊嬋;姜瀟瀟;王鳳文;司光遠(yuǎn);;表面等離子陣列結(jié)構(gòu)中的耦合增強(qiáng)反射效應(yīng)及其紅外光譜增強(qiáng)特性[J];紅外與毫米波學(xué)報(bào);2014年06期

6 鄭曉虎;劉遠(yuǎn)偉;顧鋒;;金屬微結(jié)構(gòu)電鑄成型的流場性能研究[J];壓電與聲光;2010年06期

7 成杰;李寒松;朱荻;;基于超聲輔助的UV-LIGA光柵制備技術(shù)研究[J];機(jī)械制造與自動化;2014年02期

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3 呂志平;SU-8膠模溶脹性及其隔離帶控制工藝研究[D];大連理工大學(xué);2010年

4 施維枝;基于SU-8厚膠鎳模具制作及其尺寸精度控制研究[D];大連理工大學(xué);2009年

5 宋磊;微電鑄層內(nèi)應(yīng)力與微模具型芯制作的研究[D];大連理工大學(xué);2009年

6 張小波;新型電熱微驅(qū)動器的研究[D];上海交通大學(xué);2010年

7 劉亞萍;超聲改變SU-8膠溶脹性的機(jī)理及試驗(yàn)研究[D];大連理工大學(xué);2012年

8 李燃燈;基于UV-LIGA技術(shù)的雙層微齒輪模具鑲塊的工藝研究[D];華東理工大學(xué);2012年

9 吳倩;用于細(xì)胞捕獲的微繞流柱陣列芯片設(shè)計(jì)及制備[D];華中科技大學(xué);2012年

【二級參考文獻(xiàn)】

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2 杜立群;王煜;王啟佳;陳莉;;聚合物SU-8光刻膠超聲時效實(shí)驗(yàn)研究[J];大連理工大學(xué)學(xué)報(bào);2010年06期

3 李永海,丁桂甫,毛海平,張永華;LIGA/準(zhǔn)LIGA技術(shù)微電鑄工藝研究進(jìn)展[J];電子工藝技術(shù);2005年01期

4 劉嵩,萬震,金益芬;高吸水性聚合物吸液模型及性能測試方法評述[J];高分子材料科學(xué)與工程;2002年04期

5 張立國,陳迪,楊帆,李以貴;SU-8膠光刻工藝研究[J];光學(xué)精密工程;2002年03期

6 杜立群;劉海軍;秦江;朱神渺;;微電鑄器件鑄層均勻性的研究[J];光學(xué)精密工程;2007年01期

7 杜立群;秦江;劉沖;朱神渺;李園園;;SU-8膠紫外光刻的尺寸精度研究[J];光學(xué)精密工程;2007年04期

8 杜立群;朱神渺;;微機(jī)電系統(tǒng)中SU-8厚光刻膠的內(nèi)應(yīng)力研究[J];光學(xué)精密工程;2007年09期

9 陳少軍;李以貴;杉山進(jìn);;應(yīng)用X射線光刻的微針陣列及掩模板補(bǔ)償[J];光學(xué)精密工程;2010年02期

10 胡洋洋;朱荻;李寒松;曲寧松;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作超高微細(xì)陣列電極技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2010年03期

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