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基于力矩主動校正的反射鏡支撐分析

發(fā)布時間:2017-12-22 08:35

  本文關(guān)鍵詞:基于力矩主動校正的反射鏡支撐分析 出處:《紅外與激光工程》2015年04期  論文類型:期刊論文


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【摘要】:基于力校正的主動支撐技術(shù)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡面支撐,而基于力矩校正的方法目前還鮮有研究,為了深入探討該課題,在傳統(tǒng)力促動器主動支撐的基礎(chǔ)上引入了基于力矩校正的反射鏡主動支撐。首先,從鏡面主動支撐原理出發(fā),介紹了鏡面面形主動校正的分類,著重對比分析了力校正和力矩校正的優(yōu)缺點。進而,根據(jù)力矩主動校正的特點,利用在反射鏡背部施加3組等效力矩的方法,對一塊400 mm口徑的輕量化反射鏡進行了靜力學(xué)分析與優(yōu)化,擬合后鏡面變形RMS值由原來的331 nm降為9.35 nm,優(yōu)化率為97%。分析結(jié)果表明,基于力矩校正的主動支撐是有效的,同時為主動支撐的智能化及多樣化提供了一種新的思路。
【作者單位】: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;
【分類號】:TH74
【正文快照】: 0引言主動支撐技術(shù)在光學(xué)鏡面支撐方面有著明顯的優(yōu)勢,一方面可以很好地保證鏡面面形;另一方面可有效降低鏡面支撐系統(tǒng)的質(zhì)量。目前,主動支撐廣泛采用力促動器結(jié)構(gòu)形式,具體是通過在反射鏡背部設(shè)置若干力促動器,通過合理施加軸向校正力實現(xiàn)波前面形校正。為了合理利用力促動器

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