本文關(guān)鍵詞：高分辨力凹面光柵光譜儀的優(yōu)化設(shè)計(jì)

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【摘要】：本文從凹面光柵的理論分辨力和像差、狹縫的寬度和高度、光柵基片的尺寸大小等角度出發(fā),推導(dǎo)了系統(tǒng)分辨力的計(jì)算公式,得出系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)的新方法。得出以下結(jié)論:系統(tǒng)不能通過(guò)無(wú)限增加光柵刻線數(shù)來(lái)提高分辨力;狹縫寬度的選擇要綜合考慮入射光的能量和分辨力的大小;狹縫寬度對(duì)系統(tǒng)分辨力的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于狹縫高度和凹面光柵的理論分辨力的影響;提出了基片尺寸大小的計(jì)算公式和優(yōu)化設(shè)計(jì)的方法。本文的理論計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)結(jié)果相一致。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)教育部光學(xué)儀器與系統(tǒng)工程研究中心上�，F(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61378060,61205156) 國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)(2012YQ170004) 上海市教育委員會(huì)科研創(chuàng)新項(xiàng)目(14YZ095)
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 0引言平面光柵衍射是按照夫瑯禾費(fèi)原理進(jìn)行色散的,因此平面光柵光譜儀的入射光波需進(jìn)行準(zhǔn)直以平面波照射到光柵面上,而衍射平面波需進(jìn)行聚焦成像在探測(cè)器的光敏器件上[1],一般采用的是反射鏡或透鏡。為了避免準(zhǔn)直聚光對(duì)衍射光線造成的光損失,尤其在紫外光譜分析時(shí),羅蘭引進(jìn)了

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