本文關(guān)鍵詞：振動(dòng)環(huán)境下MEMS加速度計(jì)的可靠性評(píng)估

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【摘要】：在MEMS加速度計(jì)加速壽命試驗(yàn)及加速性能退化試驗(yàn)研究的基礎(chǔ)上,對(duì)MEMS加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的可靠性技術(shù)進(jìn)行了研究。通過(guò)理論分析MEMS加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的失效模式和失效機(jī)理,結(jié)合具體的試驗(yàn)條件設(shè)計(jì)了加速度計(jì)加速壽命試驗(yàn)及加速性能退化試驗(yàn)方案,并對(duì)MEMS加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的失效數(shù)據(jù)分別進(jìn)行了加速壽命可靠性評(píng)估及加速性能退化可靠性評(píng)估。研究表明,兩種評(píng)估方法得到的評(píng)估結(jié)果基本一致;加速性能退化評(píng)估方法適用于MEMS加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境中的可靠性研究,且該方法簡(jiǎn)捷、正確可行、節(jié)省試驗(yàn)費(fèi)用,為MEMS加速度計(jì)在實(shí)際應(yīng)用中提供了重要的參考依據(jù)。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)信息與通信工程學(xué)院;
【基金】：山西省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(2014011021-5)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)在近十幾年來(lái)取得了飛速的發(fā)展,微加速度計(jì)是MEMS的一個(gè)重要分支,在航空、航天、汽車、國(guó)防等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。隨著高新技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)代武器裝備的使用環(huán)境越來(lái)越嚴(yán)酷,對(duì)質(zhì)量和可靠性的要求也越來(lái)越高,MEMS加速度計(jì)的可靠性保障越來(lái)越困難。MEMS加速，

本文編號(hào)：1305475