本文關(guān)鍵詞：基于梯形算子的AFM驅(qū)動(dòng)器非對稱遲滯性校正

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【摘要】：原子力顯微鏡(AFM)通常采用壓電陶瓷(PZT)作為驅(qū)動(dòng)器以實(shí)現(xiàn)納米尺度的觀測和操作。然而,PZT自身的遲滯非線性會(huì)對AFM觀測質(zhì)量和操作精度產(chǎn)生很大影響�；赑randtl-Ishlinskii(PI)模型的前饋控制方法可對PZT的遲滯非線性進(jìn)行補(bǔ)償,但傳統(tǒng)PI模型無法消除PZT的非對稱遲滯性的影響。針對這個(gè)問題,提出一種基于梯形算子的非對稱遲滯模型,并可用系統(tǒng)辨識方法獲取逆模型參數(shù),該方法可有效實(shí)現(xiàn)具有非對稱遲滯特性驅(qū)動(dòng)器的前饋補(bǔ)償控制。AFM系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)證明,該模型可有效減小非對稱遲滯性導(dǎo)致的建模誤差,基于該模型的前饋遲滯補(bǔ)償控制可有效提高AFM的掃描成像質(zhì)量。
【作者單位】： 中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年基金(61304251) 國家863計(jì)劃(2012AA041204) 中國科學(xué)院科研裝備研制(YZ201245)資助項(xiàng)目
【分類號】：TH742
【正文快照】： 1引言原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)作為一種納米觀測和操作的有效工具,在科研領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用[1-2]。由于壓電陶瓷(piezoelectric,PZT)具有極高分辨率和很快的響應(yīng)速度[3-5],通常被用作AFM中的驅(qū)動(dòng)器[6]。然而,PZT自身的非線性因素尤其是遲滯性[7]會(huì)導(dǎo)致掃描

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 陳俊;徐志偉;陳杰;;壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)[J];國外電子測量技術(shù);2014年04期

2 張春雷;劉健;王紹治;史振廣;代雷;彭利榮;向陽;;前饋控制算法校正相移微動(dòng)臺(tái)非線性運(yùn)動(dòng)[J];電子測量與儀器學(xué)報(bào);2014年08期

3 王學(xué)亮;李佩s，

本文編號：1297597