本文關(guān)鍵詞：改進型的滾轉(zhuǎn)角測量干涉儀

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【摘要】：所有的機械導軌運動副都具有三個回轉(zhuǎn)自由度或稱作為角運動誤差,包括俯仰角、偏擺角和滾轉(zhuǎn)角誤差,其中滾轉(zhuǎn)角由于其產(chǎn)生的特別原因,而最難測量。針對現(xiàn)有的以對稱的雙楔角棱鏡和對稱的雙楔面反射鏡組成的滾轉(zhuǎn)角測量干涉儀,提出了利用單楔角和單楔面反射鏡的高精密滾轉(zhuǎn)角測量干涉儀系統(tǒng)。由于系統(tǒng)所需光學元件較少,在實現(xiàn)相同測量分辨率的情況下,更有利于光學元件的加工和安裝調(diào)試。系統(tǒng)中不同頻率的兩束光的傳播路徑相互平行,因此能夠有效地減小死程誤差和排除其他自由度的干擾,系統(tǒng)穩(wěn)定性更好。使用普通的2π/512細分相位計,滾轉(zhuǎn)角測量分辨率為2μrad。
【作者單位】： 上海理工大學光電信息與計算機工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(51075280) 滬江基金(C14002)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,對超精密位移的精度要求越來越高,例如超精密機床的定位精度已經(jīng)小于100 nm或者幾十納米,在光刻機的掃描定位工作臺中,測量精度要求只有幾個納米,甚至1 nm以下。位移精度要求的不斷升級,就意味著必須對位移運動中的各種轉(zhuǎn)角進行嚴格控制,以保證相

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