本文關(guān)鍵詞：哈特曼波前分析儀校準(zhǔn)方法研究

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【摘要】：在介紹哈特曼波前分析儀工作原理的基礎(chǔ)上,分析了哈特曼探測(cè)器微孔陣列面與CCD面間距LH參數(shù)校準(zhǔn)的必要性,提出并討論了用已知斜率的平面波校準(zhǔn)LH參數(shù),并將平面波斜率值精確溯源至點(diǎn)光源位移量的校準(zhǔn)方法。依據(jù)此校準(zhǔn)方法,實(shí)際校準(zhǔn)了一臺(tái)哈特曼波前分析儀,給出了LH參數(shù)的校準(zhǔn)值。用校準(zhǔn)過(guò)的哈特曼波前分析儀測(cè)量了三種不同曲率半徑的球面波前,與軟件構(gòu)造的相同曲率半徑的理想球面波前作比較,波前測(cè)量精度達(dá)λ/35,波前像差PV值達(dá)λ/7。該實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,哈特曼波前分析儀校準(zhǔn)結(jié)果是準(zhǔn)確的,校準(zhǔn)方法是有效可行的。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院光學(xué)與激光計(jì)量科學(xué)研究所;
【基金】：國(guó)家質(zhì)檢總局科技計(jì)劃項(xiàng)目(2012QK346)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言哈特曼波前測(cè)量技術(shù)憑借寬動(dòng)態(tài)范圍、部分相干光束適用、無(wú)頻譜純度要求、脈沖光可測(cè)以及可分辨2π整數(shù)倍相位信息等優(yōu)勢(shì)[1],擁有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。該技術(shù)早期應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡和高功率激光的自適應(yīng)光學(xué)領(lǐng)域[2-5],隨著技術(shù)的發(fā)展完善,逐步擴(kuò)展至大氣擾動(dòng)監(jiān)測(cè)、人眼像差、

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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6 郭愛(ài)林;朱海東;唐仕旺;謝興龍;朱健強(qiáng);;高功率激光驅(qū)動(dòng)器波前殘余像差研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年08期

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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10 余翔;饒學(xué)軍;薛麗霞;王成;胡羿云;熊瑛;姜文漢;;可誘導(dǎo)人眼自主調(diào)節(jié)的動(dòng)態(tài)像差測(cè)量?jī)x[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2007年07期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 趙陽(yáng);深紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 王洪鐸;;哈特曼公式與色散凸輪輪廓曲線(xiàn)的分段設(shè)計(jì)[J];分析儀器;1990年02期

2 楊俊濤;何玉梅;湯國(guó)茂;;徑向哈特曼動(dòng)態(tài)測(cè)量控制[J];光電工程;2008年09期

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本文編號(hào)：1251827