本文關鍵詞：光柵刻劃機衍射波前質量的主動控制校正方法

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【摘要】：衍射波前質量是刻劃光柵的重要性能指標之一,對于機械刻劃光柵,刻劃機的刻線定位精度直接影響光柵的波前質量。建立了刻劃機固有存在的刻線位置和轉角誤差與光柵衍射波前誤差間的數(shù)學關系,分析了各誤差對衍射波前質量的影響。針對該誤差設計了一種基于雙頻激光干涉測量的刻劃機刻線位置和轉角誤差測量的光路,并提出了一種主動控制技術,即采用單壓觸動器校正刻線位置和轉角誤差的方法。根據(jù)該校正方法設計了刻劃機的雙層光柵承載工作臺結構,并進行了尺寸為80 mm×60 mm、刻線密度為194 line/mm的光柵刻劃實驗。實驗結果表明,刻劃光柵的衍射波前誤差由0.23λ降低至0.093λ(λ=632.8 nm),并且原子力顯微鏡測試光柵刻槽質量符合理論設計要求。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院大學;
【基金】：國家973計劃(2014CB049500) 國家重大科研裝備研制項目(ZDYZ2008-1) 吉林省重大科技攻關項目(09ZDGG005)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言光柵是一種分光元件,廣泛應用于各類光譜儀器中[1-2],光柵的光譜性能直接影響光譜儀的光譜解析能力,而光柵的波前質量直接決定了光柵的光譜線質量和分辨本領。作為制作刻劃光柵的衍射光柵刻劃機由刻劃系統(tǒng)和分度系統(tǒng)組成[3-4]�？虅澫到y(tǒng)主要由鞍型滑塊(帶動刀架系統(tǒng)做往

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 劉玉娟;崔繼承;巴音賀希格;陳少杰;齊向東;唐玉國;;凸面光柵成像光譜儀的研制與應用[J];光學精密工程;2012年01期

2 蔡錦達;王英;顏廷萌;秦緒祥;王亮;;衍射光柵刻劃機的閉環(huán)控制系統(tǒng)[J];光學精密工程;2012年11期

3 李曉天;巴音賀希格;齊向東;于海利;唐玉國;;刻線誤差與面型誤差對平面光柵光譜性能影響的二維快速傅里葉變換分析方法[J];光學學報;2012年11期

4 于磊;林冠宇;于向陽;;空間高層大氣遙感遠紫外成像光譜儀的光學系統(tǒng)[J];光學學報;2013年01期

5 陳科位;于宏柱;張善文;齊向東;于海利;馮樹龍;;大型衍射光柵刻劃機刀架系統(tǒng)的設計[J];光學精密工程;2013年11期

6 李曉天;巴音賀希格;齊向東;于海利;唐玉國;;機械刻劃光柵的刻線彎曲與位置誤差對平面光柵性能影響及其修正方法[J];中國激光;2013年03期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 于海利;基于雙頻激光干涉測量的大行程納米定位技術及其應用研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙敏杰;司福祺;江宇;周海金;汪世美;劉文清;;星載大氣痕量氣體差分吸收光譜儀的實驗室定標[J];光學精密工程;2013年03期

2 吳從均;顏昌翔;劉偉;代虎;;基于Offner結構分視場成像光譜儀光學設計[J];光譜學與光譜分析;2013年08期

3 尹志生;崔洋;徐立松;李佩s，

本文編號：1247854