本文關(guān)鍵詞：基于多體系統(tǒng)理論的精密檢測平臺空間誤差建模與補(bǔ)償

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【摘要】：針對大口徑光學(xué)元件精密檢測平臺的工作特點及影響其空間誤差的各項幾何誤差因素,運(yùn)用多體系統(tǒng)理論,用低序體陣列描述多體系統(tǒng)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),建立一種空間誤差數(shù)學(xué)模型。綜合應(yīng)用激光干涉儀、球桿儀和激光位移傳感器等儀器設(shè)備,提出大口徑光學(xué)元件精密檢測平臺各項幾何誤差和空間誤差的測量方法,并對模型中所涉及的各項幾何誤差進(jìn)行了系統(tǒng)分析和全面測量,對空間誤差進(jìn)行補(bǔ)償。誤差補(bǔ)償實驗證明所提模型正確有效,將空間誤差從補(bǔ)償前-70.01~22.14μm降低到補(bǔ)償后-4.22~5.8μm,大大提高了精密檢測平臺的測量精度。
【作者單位】： 廈門大學(xué)機(jī)電工程系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51075343) 福建省自然科學(xué)基金項目(2012J05098)
【分類號】：TH74;TP274
【正文快照】： 0引言大口徑高精度光學(xué)元件,特別是非球面元件,已經(jīng)廣泛用于航空航天、天文及慣性約束聚變(ICF)的巨型激光裝置,與此同時,對光學(xué)元件的面形精度和表面粗糙度等都提出了很高的要求[1-3]。在制造過程中,為了達(dá)到各項技術(shù)參數(shù)的要求,必須經(jīng)過反復(fù)檢測、反饋面形精度,從而指導(dǎo)修正

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本文編號：1241794