本文關(guān)鍵詞：經(jīng)緯儀主鏡軸向支撐結(jié)構(gòu)仿真與優(yōu)化

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【摘要】：為了獲得軸向支撐結(jié)構(gòu)對(duì)經(jīng)緯儀大口徑主鏡面形的影響規(guī)律,對(duì)主鏡軸向支撐結(jié)構(gòu)進(jìn)行了結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)及參數(shù)化分析。首先,采用接觸邊界條件方法建立了詳細(xì)的主鏡支撐系統(tǒng)有限元模型,對(duì)主鏡初始支撐結(jié)構(gòu)下的面形誤差進(jìn)行仿真分析,獲得主鏡初始支撐結(jié)構(gòu)下光軸水平及光軸豎直狀態(tài)下主鏡的面形RMS值。然后,應(yīng)用4D干涉儀對(duì)主鏡徑向支撐狀態(tài)下的面形RMS進(jìn)行了檢測(cè),有限元仿真得到的主鏡面形RMS值與實(shí)驗(yàn)結(jié)果的偏差為13.2%,證明了仿真方法的準(zhǔn)確性。最后,對(duì)主鏡軸向支撐結(jié)構(gòu)進(jìn)行了結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化,并根據(jù)拓?fù)鋬?yōu)化結(jié)果建立新的主鏡軸向支撐結(jié)構(gòu)模型,對(duì)其重要尺寸進(jìn)行了參數(shù)化分析。優(yōu)化的主鏡支撐結(jié)構(gòu)的主鏡面形誤差明顯優(yōu)于初始結(jié)構(gòu):軸向支撐狀態(tài)下主鏡面形誤差的RMS值由11.49 nm提升至8.38 nm。該研究可以為主鏡支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)提供重要參考。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275504)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言大口徑主反射鏡是光電經(jīng)緯儀的重要部件,它的面形精度直接影響成像質(zhì)量的好壞,其支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)一直是研制光電經(jīng)緯儀的關(guān)鍵技術(shù)之一[1]。支撐點(diǎn)位置選擇是支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的重要組成部分,它直接影響主鏡的面形精度[2,4]。支撐結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸也對(duì)主鏡的面形精度起到至關(guān)重要

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本文編號(hào)：1237435