發(fā)布時間：2017-11-27 12:10

  本文關鍵詞：高精度標準鏡支撐結構的研究與設計

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【摘要】：為了保證高精度光學元件面形檢測精度,必須對干涉儀標準鏡自身的面形精度進行嚴格控制。在考慮標準鏡自重的情況下,采用有限元方法研究了不同膠點數(shù)量及分布形式、不同的鏡框支撐方式對參考面面形精度的影響。根據(jù)研究結果,針對球面標準鏡面形精度要優(yōu)于λ/40的要求,設計了口徑準150mm的標準鏡的支撐方式,采用12×3點膠接、鏡框底面六點的撓性支撐方式,經(jīng)有限元分析得到:參考面面形的PV值為7.36 nm,RMS值為1.52 nm;并驗證了溫度變形較自重變形很小。結果表明,各項指標滿足設計要求,證明了結構設計的合理性。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院大學;
【基金】：中國科學院“三期”創(chuàng)新工程
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言現(xiàn)代高精度光學儀器的快速發(fā)展不僅對光學透鏡的設計、加工、裝配及調校提出了越來越高的要求,對光學元件的檢測要求也越來越高,尤其是微電子光刻技術即深紫外短波長光刻技術的發(fā)展與應用,其光學元件的精度達到納米量級[1]。而干涉儀是現(xiàn)代光學元件檢測的常用儀器,它是利

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本文編號：1231788