本文關(guān)鍵詞：微機械加速度計的溫漂性能研究綜述

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【摘要】：溫度是影響微機械加速度計性能指標(biāo)、限制其應(yīng)用領(lǐng)域的關(guān)鍵因素之一。在簡要介紹微機械加速度計發(fā)展現(xiàn)狀及溫度對其影響機理的基礎(chǔ)上,對近年來在降低微機械加速度計溫漂方面國內(nèi)外研究機構(gòu)所采取的主要研究方法進行了詳細的闡述,為該研究領(lǐng)域的推進提供了參考。
【作者單位】： 西安郵電大學(xué)電子工程學(xué)院;
【基金】：陜西省教育廳專項科研計劃項目(15JK1683)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 時,微機械加速度計將產(chǎn)生輸出誤差,其中,微機械引　言加速度計隨環(huán)境溫度變化而產(chǎn)生的測量精度誤差(即溫漂)是制約加速度計性能提升、限制其應(yīng)用場高精度、高穩(wěn)定性的微機械加速度計在國防領(lǐng)域中占據(jù)著重要的軍事地位,而影響微機械加速度合的關(guān)鍵因素[1]。因此,如何降低微機械

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【相似文獻】

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9 胡m，

本文編號：1229116