本文關(guān)鍵詞：基于納米壓印的大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法

  更多相關(guān)文章： 衍射光學(xué)元件 低成本 批量化 納米壓印 跨尺度兼容

【摘要】：針對(duì)大角度(大于50°)衍射光學(xué)元件低成本、批量化制備的需求,提出一種基于納米壓印技術(shù)的制備方法.首先利用光學(xué)曝光技術(shù)或電子束直寫技術(shù)制備衍射元件的原始母板,然后將原始母板的結(jié)構(gòu)通過納米壓印過程復(fù)制到壓印膠上,完成衍射光學(xué)元件的制備.由于納米壓印母板可以多次重復(fù)使用,降低了制作成本,提高了效率.用該方法制備了不同特征尺寸(最小為250nm,衍射全角為70°)的衍射光學(xué)元件,具有良好的衍射效果,實(shí)現(xiàn)了對(duì)高深寬比浮雕結(jié)構(gòu)的高保真復(fù)制.該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從微米到納米跨尺度兼容的衍射光學(xué)元件的高保真、低成本、批量化制備.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(No.61505204)資助~~
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Element,DOE)是以光的衍射理論為基礎(chǔ),由計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì),運(yùn)用各種微細(xì)加工工藝,在傳統(tǒng)光學(xué)器件表面刻蝕產(chǎn)生多臺(tái)階或連續(xù)形狀的浮雕結(jié)構(gòu),具有匯聚、成像、分光等光束整形作用的一類光學(xué)元件[1-3].由于其體積小、設(shè)計(jì)靈活、衍射效率高等

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 于斌;李恒;陳丹妮;牛憨笨;;用于大景深三維納米分辨多分子追蹤的衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)制備和實(shí)驗(yàn)研究[J];物理學(xué)報(bào);2013年15期

2 謝常青;朱效立;牛潔斌;李海亮;劉明;陳寶欽;胡媛;史麗娜;;微納金屬光學(xué)結(jié)構(gòu)制備技術(shù)及應(yīng)用[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年09期

3 張維光;趙宏;張琦;周翔;;線結(jié)構(gòu)光三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定方法[J];中國激光;2009年01期

4 孟劍奇;;衍射光學(xué)及其在紅外成像系統(tǒng)中的應(yīng)用[J];航空兵器;2006年06期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 鄧茜;趙立新;唐燕;姚靖威;劉俊伯;胡松;;掃描積分塔爾博特光刻條紋質(zhì)量影響因素模擬分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2016年12期

2 劉舵;強(qiáng)鵬飛;李林森;劉哲;盛立志;劉永安;趙寶升;;多層嵌套式X射線聚焦光學(xué)器件[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2016年08期

3 董亭亭;付躍剛;陳馳;張磊;馬辰昊;;鍺襯底表面圓柱形仿生蛾眼抗反射微結(jié)構(gòu)的研制[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2016年05期

4 孔明;王英軍;單良;趙軍;王道檔;;基于片光的貨車側(cè)面防護(hù)欄安裝尺寸測(cè)量[J];計(jì)算機(jī)測(cè)量與控制;2016年01期

5 劉鑫;張滿;龐輝;史立芳;曹阿秀;鄧啟凌;;基于納米壓印的大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法[J];光子學(xué)報(bào);2016年06期

6 司新春;唐燕;胡松;劉俊伯;程依光;胡淘;周毅;鄧欽元;;基于復(fù)合光柵的大范圍高精度對(duì)準(zhǔn)方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2016年01期

7 盧增雄;齊月靜;齊威;蘇佳妮;彭卓君;;納米精度波像差檢測(cè)隨機(jī)點(diǎn)源陣列照明優(yōu)化分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2015年06期

8 楊樹敏;王連升;趙俊;薛超凡;劉海崗;許子建;吳衍青;邰仁忠;;Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography[J];Nuclear Science and Techniques;2015年01期

9 于明巖;施云波;趙士瑞;郭曉龍;徐昕偉;景玉鵬;陳寶欽;;應(yīng)用微波技術(shù)抑制光刻膠圖形的坍塌與黏連[J];光學(xué)精密工程;2015年01期

10 劉芳;姜振益;張陳俊;;Li_nC團(tuán)簇的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與振動(dòng)光譜[J];光子學(xué)報(bào);2014年11期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李恒;于斌;陳丹妮;牛憨笨;;高效雙螺旋點(diǎn)擴(kuò)展函數(shù)相位片的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究[J];物理學(xué)報(bào);2013年12期

2 王衍斌;唐永建;朱效立;張林;陳志梅;馬小軍;;微米柱陣列ICF埋點(diǎn)靶的制備[J];原子能科學(xué)技術(shù);2011年04期

3 劉曼;陳小藝;李海霞;宋洪勝;滕樹云;程傳福;;利用干涉光場(chǎng)的相位渦旋測(cè)量拉蓋爾-高斯光束的軌道角動(dòng)量[J];物理學(xué)報(bào);2010年12期

4 陳丹妮;劉磊;于斌;牛憨笨;;HeLa細(xì)胞突起中微絲束的納米分辨熒光成像[J];物理學(xué)報(bào);2010年10期

5 靳飛飛;朱效立;李海亮;馬杰;謝常青;劉世炳;;2000lp/mm X射線透射變柵距光柵的研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年06期

6 馬杰;謝常青;葉甜春;劉明;;自支撐透射光柵的設(shè)計(jì)、制作和測(cè)試[J];物理學(xué)報(bào);2010年04期

7 周洪軍;鐘鵬飛;霍同林;蔣新亭;鄭津津;;同步輻射活化氧清洗碳污染的研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年03期

8 李木軍;沈連Z`;趙瑋;鄭津津;周杰;;接近式光刻衍射光場(chǎng)的有效波前作用規(guī)律分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年02期

9 田豐;楊國光;白劍;徐建鋒;梁宜勇;;亞微米線條的微納光纖筆直寫技術(shù)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年01期

10 馬杰;曹磊峰;謝常青;吳璇;李海亮;朱效立;劉明;陳寶欽;葉甜春;;帶支撐結(jié)構(gòu)的大高寬比硬X射線波帶片制作[J];光電工程;2009年10期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 馬鋒;王多書;羅崇泰;陳燾;葉自煜;劉宏開;王濟(jì)州;;對(duì)衍射光學(xué)元件溫度特性的研究[J];真空與低溫;2008年04期

2 時(shí)招軍;高益慶;;自適應(yīng)粒子群算法設(shè)計(jì)純相位衍射光學(xué)元件[J];南昌航空大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年02期

3 任延同,付永啟;衍射光學(xué)元件制作技術(shù)及未來展望[J];光學(xué)精密工程;1997年02期

4 高春林，，辛企明;衍射光學(xué)元件的應(yīng)用[J];光學(xué)技術(shù);1995年06期

5 陶少華,田永紅,陳培鋒,丘軍林;利用衍射光學(xué)元件增加出射光束的焦深[J];光學(xué)精密工程;1998年03期

6 董輝;崔慶豐;裴雪丹;冷家開;;多層衍射光學(xué)元件成像特性的研究[J];光子學(xué)報(bào);2009年03期

7 俞建杰;韓琦琦;馬晶;譚立英;;衍射光學(xué)元件在衛(wèi)星激光通信終端中的潛在應(yīng)用(英文)[J];紅外與激光工程;2013年01期

8 陶少華,陳培鋒,丘軍林;一種衍射光學(xué)元件的研究[J];大連理工大學(xué)學(xué)報(bào);1997年S2期

9 邱克強(qiáng);周小為;劉穎;徐向東;劉正坤;盛斌;洪義麟;付紹軍;;大尺寸衍射光學(xué)元件的掃描離子束刻蝕[J];光學(xué)精密工程;2012年08期

10 鄒凱,鄧曉鵬,李慎;衍射光學(xué)元件的效率研究[J];光學(xué)與光電技術(shù);2005年04期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 楊國楨;顧本源;董碧珍;;衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法[A];第二屆光學(xué)前沿問題學(xué)術(shù)討論會(huì)論文摘要集[C];1994年

2 白劍;馬韜;沈亦兵;侯西云;;多層衍射光學(xué)元件的特性分析[A];2006年全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)會(huì)議文集（B 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造技術(shù)專題）[C];2006年

3 董碧珍;劉嶸;;產(chǎn)生單色或多色點(diǎn)/環(huán)衍射圖形的光學(xué)元件設(shè)計(jì)[A];第三屆全國光學(xué)前沿問題討論會(huì)論文摘要集[C];1997年

4 張靜娟;司徒國海;;衍射光學(xué)元件用于光學(xué)圖像加密[A];第六屆全國光學(xué)前沿問題研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

5 王天及;楊世寧;李耀棠;;在液晶空間光調(diào)制器上的可編程費(fèi)涅耳透鏡[A];第二屆光學(xué)前沿問題學(xué)術(shù)討論會(huì)論文摘要集[C];1994年

6 邱傳凱;杜春雷;鄧啟凌;潘麗;;衍射光學(xué)元件在紅外像傳感器中的應(yīng)用研究[A];2004全國圖像傳感器技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)議論文集[C];2004年

7 楊春林;柴立群;楊李茗;許喬;;大口徑衍射光學(xué)元件技術(shù)[A];中國工程物理研究院科技年報(bào)（2001）[C];2001年

8 劉娟;王尚奇;;激光腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 馬韜;多層衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)理論及其在混合光學(xué)系統(tǒng)中的應(yīng)用[D];浙江大學(xué);2006年

2 劉濤;衍射光學(xué)元件的冷反射特性研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

3 張巍;“神光”裝置大尺寸衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及其應(yīng)用研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2007年

4 鄔融;衍射光學(xué)元件的高效計(jì)算與設(shè)計(jì)方法[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

5 李珂;用于光束整形與超分辨成像的衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

6 楊亮亮;多層衍射光學(xué)元件衍射效率的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

7 姜瞳;基于飛秒激光直寫微光學(xué)元件的制備及性能表征[D];吉林大學(xué);2014年

8 王泰升;修正折/衍混合系統(tǒng)像質(zhì)分析模型的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

9 李紅軍;衍射光學(xué)元件制作及其在CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的應(yīng)用[D];中國科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;2001年

10 曹國威;用于ICF束勻滑與遠(yuǎn)場(chǎng)熒光顯微鏡的衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 鞏燕龍;衍射光學(xué)元件模壓制造技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2013年

2 虎將;折衍二元光學(xué)元件模壓技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2015年

3 呂偉;矢量光束聚焦光場(chǎng)的產(chǎn)生及調(diào)控[D];青島大學(xué);2015年

4 龔豪;紅外衍射光學(xué)元件的衍射效率和加工誤差的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2016年

5 王繼凱;紅外寬波段多層衍射光學(xué)元件衍射效率分析[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2016年

6 董輝;多層衍射光學(xué)元件應(yīng)用的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2008年

7 張殿文;亞波長(zhǎng)衍射光學(xué)元件增透特性的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2002年

8 樊本杰;衍射光學(xué)元件作為激光器諧振腔反射鏡的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

9 陳成;基于衍射光學(xué)元件的激光透射微焊接關(guān)鍵技術(shù)研究[D];江蘇大學(xué);2009年

10 高峰;衍射光學(xué)波面整形元件及衍射型軸錐鏡設(shè)計(jì)研究[D];四川大學(xué);2002年

本文編號(hào)：1223818