本文關(guān)鍵詞：考慮投影畸變?cè)O(shè)計(jì)大口徑離軸非球面檢測(cè)用計(jì)算全息圖

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【摘要】：對(duì)大口徑離軸非球面進(jìn)行零位補(bǔ)償檢測(cè)時(shí),投影畸變過(guò)于嚴(yán)重的區(qū)域會(huì)由于干涉條紋密度過(guò)大而無(wú)法檢測(cè),從而使加工難以進(jìn)行。針對(duì)此問(wèn)題,本文采用相對(duì)畸變參數(shù)定量描述投影畸變,設(shè)計(jì)了自由度更高、補(bǔ)償能力更強(qiáng)的計(jì)算全息圖(CGH)檢測(cè)方法。該方法在CGH設(shè)計(jì)階段考慮投影畸變分布,選擇合適的光路結(jié)構(gòu)使得所有區(qū)域的投影畸變均較小。根據(jù)此方法,對(duì)直徑為1.45m的離軸非球面設(shè)計(jì)了比零位補(bǔ)償器畸變小的CGH。檢測(cè)實(shí)驗(yàn)顯示:使用設(shè)計(jì)的CGH可檢測(cè)非球面的全口徑面形誤差,驗(yàn)證了在CGH設(shè)計(jì)階段考慮投影畸變的正確性與實(shí)用性,表明該方法可解決加工過(guò)程中零位補(bǔ)償器由于投影畸變導(dǎo)致部分區(qū)域不能檢測(cè)的問(wèn)題。以CGH的檢測(cè)結(jié)果為指導(dǎo),目前該1.45m直徑的離軸非球面加工精度已達(dá)0.374λPV,0.023λRMS。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家973重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2011CB013205) 國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(No.61036015)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74;O438.1
【正文快照】： 2.中國(guó)科學(xué)院大學(xué),北京100049)1引言在空間光學(xué)系統(tǒng)中應(yīng)用非球面元件可減小系統(tǒng)的總體尺寸和重量,降低發(fā)射成本,提高可靠性,因而非球面元件已成為空間光學(xué)系統(tǒng)中不可或缺的核心元件[1]。隨著空間技術(shù)的發(fā)展,空間光學(xué)領(lǐng)域中非球面的應(yīng)用要求不斷提高,口徑要求越來(lái)越大。特別是

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本文編號(hào)：1222064