本文關(guān)鍵詞：梳齒式靜電微驅(qū)動器穩(wěn)定性分析與結(jié)構(gòu)優(yōu)化

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【摘要】：針對典型梳齒式靜電微驅(qū)動器驅(qū)動穩(wěn)定性差的問題,建立微驅(qū)動器驅(qū)動穩(wěn)定性分析模型,系統(tǒng)分析微驅(qū)動器驅(qū)動穩(wěn)定性隨其各結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化關(guān)系,提出基于穩(wěn)定性因子的微驅(qū)動器驅(qū)動穩(wěn)定性評估方法。提出彈性支撐機構(gòu)外置方案,建立彈性梁非線性特征模型,基于模型分析結(jié)果設(shè)計預(yù)彎彈性梁結(jié)構(gòu),建立基于梳齒結(jié)構(gòu)參數(shù)的靜電力模型,研究不同梳齒結(jié)構(gòu)對驅(qū)動器驅(qū)動穩(wěn)定性的影響。研究結(jié)果表明,彈性支撐機構(gòu)外置、預(yù)彎彈性梁結(jié)構(gòu)以及線性交疊梳齒結(jié)構(gòu)能夠有效提高梳齒微驅(qū)動器大位移輸出的驅(qū)動穩(wěn)定性。
【作者單位】： 軍械工程學(xué)院彈藥工程系;
【基金】：裝備預(yù)研基金項目(9140A05050115JB34065)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言梳齒式靜電微驅(qū)動器是應(yīng)用最為廣泛的MEMS驅(qū)動器之一。目前,梳齒式靜電微驅(qū)動器的設(shè)計大部分是基于W.C.Tang等人[1]提出的經(jīng)典結(jié)構(gòu)�；谠摻Y(jié)構(gòu)的梳齒微驅(qū)動器的驅(qū)動位移受可動梳齒電極側(cè)向不穩(wěn)定性的嚴(yán)重限制,即側(cè)向吸合現(xiàn)象的限制[2-3]。梳齒微驅(qū)動器的側(cè)向不穩(wěn)定性主

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本文編號：1201740