本文關(guān)鍵詞：亞微米高精度曲率半徑測量及其不確定度分析

  更多相關(guān)文章： 測量 曲率半徑 立式干涉儀 不確定度 交叉測量

【摘要】：針對高精度光學(xué)系統(tǒng)的需求,利用立式Fizeau型干涉儀,結(jié)合雙頻激光測長干涉儀,實現(xiàn)了亞微米量級的高精度曲率半徑的測量。為了驗證該測量系統(tǒng)的可靠性,分別使用兩個參考鏡對一系列不同曲率半徑的光學(xué)零件進(jìn)行了檢測。對產(chǎn)生測量誤差的主要因素進(jìn)行了詳細(xì)分析,以SiC小球為例,結(jié)合不確定度理論,得到測量結(jié)果的不確定度約為0.13μm(假設(shè)是正態(tài)分布,置信水平約為95%),證明該測量系統(tǒng)滿足亞微米測量精度要求。通過三坐標(biāo)測量機(jī)對同一元件的交叉檢測,驗證了該系統(tǒng)測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【基金】：國家科技重大專項(2009ZX02205)
【分類號】：TH741
【正文快照】： 1引言曲率半徑是球面光學(xué)元件的重要物理屬性,其準(zhǔn)確性對光學(xué)系統(tǒng)的性能具有重要的影響,尤其對于利用光線追跡的方法獲得精確結(jié)果的復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng),曲率半徑的精確測量不僅對光學(xué)零件的制造極為重要,也是光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)的基礎(chǔ)。對于光刻機(jī)物鏡[1-2]等復(fù)雜的高精密光學(xué)系統(tǒng),高精度

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 王孝坤;鄭立功;;一種精確測量光學(xué)球面曲率半徑的方法[J];光學(xué)學(xué)報;2011年08期

2 胡大偉;李艷秋;劉曉林;;超高數(shù)值孔徑Schwarzschild投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2013年01期

3 呂博;劉偉奇;康玉思;馮睿;柳華;魏忠倫;;全球面變焦距光刻系統(tǒng)設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2013年06期

4 徐永祥;陳磊;朱日宏;李新華;;微小球面曲率半徑的測量研究[J];儀器儀表學(xué)報;2006年09期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王青;徐新華;;干涉儀測量球面曲率半徑的精度分析[J];東南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2009年S2期

2 王孝坤;鄭立功;;一種精確測量光學(xué)球面曲率半徑的方法[J];光學(xué)學(xué)報;2011年08期

3 李嘯;尼川;王良鵬;徐永祥;;用虛光柵移相莫爾條紋法測量小球面曲率半徑[J];光學(xué)儀器;2011年03期

4 邱麗榮;李佳;趙維謙;楊佳苗;;激光共焦透鏡曲率半徑測量系統(tǒng)[J];光學(xué)精密工程;2013年02期

5 田志輝;史振廣;劉偉奇;楊懷江;隋永新;;曲率半徑的高精度測量及其不確定度[J];光學(xué)精密工程;2013年10期

6 羅紅妹;岑兆豐;李曉彤;張魯薇;張躍騫;;實際高數(shù)值孔徑光刻系統(tǒng)的偏振分析[J];光學(xué)學(xué)報;2013年11期

7 郭玲玲;張星祥;任建岳;張立國;付天驕;;激光跟蹤儀測量二次離軸非球面曲率半徑的方法[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2013年09期

8 王健全;田欣利;張保國;王朋曉;;微納尺寸零件曲率半徑測量方法[J];解放軍理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2014年01期

9 薛慶生;曹佃生;于向陽;;新型大相對孔徑Schwarzschild光譜成像系統(tǒng)設(shè)計[J];中國激光;2014年01期

10 趙琦;蔣澤偉;孟慶安;李軼國;樊紅英;胡紹云;李建欣;何勇;楊潔;;基于泰伯-莫爾干涉技術(shù)的焦距測量系統(tǒng)校準(zhǔn)技術(shù)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2014年03期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 徐永祥;顯微干涉術(shù)在測量微小表面幾何參數(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 邊疆;靜態(tài)閉合條紋的處理方法研究[D];南京理工大學(xué);2008年

2 林健;泰曼—格林型球面鏡片在線非接觸檢驗技術(shù)研究[D];福建師范大學(xué);2012年

3 黃慧;閉合干涉條紋處理方法的研究[D];南京理工大學(xué);2013年

4 詹明媚;超高分辨率星載光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)檢測[D];福建師范大學(xué);2013年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王青;徐新華;;干涉儀測量球面曲率半徑的精度分析[J];東南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2009年S2期

2 林敏,黃建軍,岑國榮;智能化光纖連接器端面干涉測試儀[J];光電工程;2000年01期

3 王雅紅;不同數(shù)據(jù)采集方法對牛頓環(huán)測曲率半徑準(zhǔn)確度的影響[J];物理與工程;2005年04期

4 林旭東;陳濤;明名;王建立;陳寶剛;董磊;;球面拼接鏡的相對曲率半徑測量[J];光學(xué)精密工程;2010年01期

5 潘君驊;大口徑紅外成像系統(tǒng)的光學(xué)設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2003年12期

6 朱向冰;陳瑾;鄧善熙;付紹軍;;復(fù)雜分光儀器中的像差研究[J];光學(xué)學(xué)報;2006年01期

7 劉菲;李艷秋;;大數(shù)值孔徑產(chǎn)業(yè)化極紫外投影光刻物鏡設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2011年02期

8 郝沛明;李可新;袁立銀;;帶有無光焦度校正板兩鏡系統(tǒng)的三級像差校正[J];光學(xué)學(xué)報;2011年02期

9 許偉才;黃瑋;楊旺;;投影光刻物鏡倍率的公差分析與補(bǔ)償[J];光學(xué)學(xué)報;2011年11期

10 李婕;明景謙;盧若飛;;一種改進(jìn)型的紅外卡塞格林光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計[J];紅外技術(shù);2010年02期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 許偉才;投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計與像質(zhì)補(bǔ)償[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 黃玲;兩種變焦距光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計研究[D];浙江大學(xué);2002年

2 陳銘勇;數(shù)字灰度光刻成像物鏡設(shè)計[D];四川大學(xué);2007年

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張志永;大軸內(nèi)孔液浸聚焦C掃描超聲襝測裝置的聚焦設(shè)計[J];熱力發(fā)電;1983年01期

2 ;《光學(xué)技術(shù)》1988年總目錄[J];光學(xué)技術(shù);1988年06期

3 孫桂林;阮順全;楊峰;;用衍射法測量會聚光束的曲率半徑[J];西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報;1993年02期

4 崔紹銘;李聳峰;;彎管流量計的測量原理及其應(yīng)用[J];石油化工自動化;2006年04期

5 陳開賢;;某流量計的測量與應(yīng)用分析[J];廣東科技;2007年06期

6 王孝坤;鄭立功;;一種精確測量光學(xué)球面曲率半徑的方法[J];光學(xué)學(xué)報;2011年08期

7 劉亞麗;;眼鏡片加工工藝[J];應(yīng)用光學(xué);1987年04期

8 顧寶華;透鏡加工中粗磨曲率半徑的確定[J];光學(xué)技術(shù);1988年04期

9 Rufino Diaz-Uribe ,陳海清;柱面透鏡的檢驗與曲率半徑的測量[J];光學(xué)技術(shù);1988年02期

10 曹季;介紹一種粗磨曲率半徑的計算方法[J];光學(xué)技術(shù);1993年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 何川;林家明;沙定國;紀(jì)榮;;雙頻激光干涉儀在曲率半徑測試中的應(yīng)用[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會光電技術(shù)專業(yè)委員會成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

2 陳磊;仇智;;干涉顯微鏡測量小球面曲率半徑[A];2006年全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會會議文集（B 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計與制造技術(shù)專題）[C];2006年

3 曹季;;介紹一種粗磨曲率半徑的計算方法[A];現(xiàn)代光學(xué)制造技術(shù)論文集[C];2002年

4 婁穎;;光學(xué)透鏡參數(shù)現(xiàn)代測量方法研究[A];高精度幾何量光電測量與校準(zhǔn)技術(shù)研討會論文集[C];2008年

5 方春庭;俞振飛;金成鵬;;一種新型凸面眼壓計的設(shè)計原理及研制[A];2007年浙江省眼科學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

6 伏德貴;馬臨泮;楊維川;袁道成;章安仁;;用超聲測厚儀測量曲面厚度[A];中國工程物理研究院科技年報（1998）[C];1998年

7 王憲民;李克敏;;大口徑透鏡的新式高效加工[A];現(xiàn)代光學(xué)制造技術(shù)論文集[C];2002年

8 錢煜;潘君驊;;一種薄非球面透鏡的加工與檢測[A];現(xiàn)代光學(xué)制造技術(shù)論文集[C];2002年

9 張友生;閆允杰;朱靜;;兩種納米級針尖的制作和應(yīng)用[A];第十三屆全國電子顯微學(xué)會議論文集[C];2004年

10 吳泉英;沈為民;朱立榮;薛鳴球;;單透鏡校正色差的新方法[A];江蘇、山東、河南、江西、黑龍江五省光學(xué)（激光）聯(lián)合學(xué)術(shù)'05年會論文集[C];2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 董云開;微尺度形貌修飾硅表面的摩擦特性研究[D];清華大學(xué);2007年

2 劉斌;變曲率光柵的成像特性研究及相關(guān)測試技術(shù)[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

3 吳恩啟;微細(xì)管道內(nèi)表面檢測及三維重建關(guān)鍵技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2005年

4 胡建軍;非球面研制實錄[D];蘇州大學(xué);2009年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙琦;CXM100-2W移相式斐索干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2008年

2 黃宗偉;角膜接觸鏡投影測量技術(shù)的研究[D];重慶大學(xué);2007年

3 齊憲林;基于熱—結(jié)構(gòu)耦合的光學(xué)系統(tǒng)尺寸穩(wěn)定性分析[D];西安電子科技大學(xué);2009年

4 牟光遠(yuǎn);φ64mm雙非球面元件數(shù)控研拋技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2010年

5 梁麗萍;利用空間載頻外差干涉術(shù)在平面干涉儀上實現(xiàn)大曲率光學(xué)零件的檢測[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2007年

6 董珊;微透鏡掃描器的研究[D];華中科技大學(xué);2007年

7 仇智;干涉顯微鏡測量球面小曲率半徑方法研究[D];南京理工大學(xué);2006年

8 季波;子孔徑拼接干涉檢測非球面光學(xué)元件[D];南京理工大學(xué);2008年

9 石二磊;硅微懸臂梁探針的制備工藝研究[D];大連理工大學(xué);2008年

10 高海濱;二次曲面鏡的朗奇法檢驗靈敏度及精度分析研究[D];煙臺大學(xué);2008年

，

本文編號：1200577