發(fā)布時間：2017-11-10 17:10

  本文關(guān)鍵詞：超精密表面形貌光學(xué)測量系統(tǒng)

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【摘要】：為了解決實際測量中單一測量方法存在的局限性,結(jié)合白光干涉測量技術(shù)與共聚焦測量技術(shù),通過緊湊型部分共光路結(jié)構(gòu)原則,設(shè)計并搭建了一套超精密表面形貌光學(xué)測量系統(tǒng),實現(xiàn)微納米幾何形貌的三維重構(gòu)與測量。基于C#語言與DirectX11開發(fā)組件,開發(fā)了上位機執(zhí)行軟件,實現(xiàn)了兩種光學(xué)測量模式下硬件的協(xié)調(diào)控制及納米標(biāo)準(zhǔn)樣板表面形貌的三維重構(gòu)。對臺階高度標(biāo)定值為(98.8±0.6)nm的臺階標(biāo)準(zhǔn)樣板進行測量,實驗表明:用白光干涉測量模式和共聚焦測量模式分別實現(xiàn)了對臺階樣板的大范圍快速測量和小范圍精密測量,10次測量的平均值分別為100.5和99.8 nm,標(biāo)準(zhǔn)差均小于2 nm,說明該系統(tǒng)能較好地滿足微納器件超精密表面形貌測量的要求。
【作者單位】： 中國計量大學(xué);上海市計量測試技術(shù)研究院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51475335) 國家重大儀器專項資助項目(2014YQ090709)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著微電子技術(shù)、微機械技術(shù)和微光學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,制造技術(shù)不斷向著超大尺寸制造以及極小尺寸制造兩個極端方向發(fā)展。為了適應(yīng)這一發(fā)展趨勢,超精密表面形貌測量儀在具備較高的橫向分辨率和縱向分辨率的同時應(yīng)具備較大的測量范圍。顯然,單一功能的儀器已經(jīng)無法滿足當(dāng)下

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：1167555