發(fā)布時間：2017-11-09 04:10

  本文關(guān)鍵詞：具有整體徑向撓性的光學(xué)元件多點均勻支撐結(jié)構(gòu)

  更多相關(guān)文章： 光刻投影物鏡 透鏡支撐結(jié)構(gòu) 自重變形 熱變形

【摘要】：光刻投影物鏡中透鏡的面形精度是影響光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。為滿足透鏡面形精度RMS值優(yōu)于1~2 nm的指標(biāo)要求,本文提出了一種具有整體徑向撓性的透鏡多點均勻支撐結(jié)構(gòu),基于自重變形和熱變形對支撐塊尺寸進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計,分析了透鏡在優(yōu)化后的支撐結(jié)構(gòu)下由自重和熱載荷引入的面形變化情況,結(jié)果表明:自重引起的透鏡上表面面形去除power項后RMS為0.429 nm,下表面面形去除power項后RMS為0.294 nm;熱載荷引起的透鏡上表面面形RMS為0.409 nm,下表面面形RMS為0.063 nm,能夠滿足光刻投影物鏡中透鏡的高精度面形要求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【基金】：國家重大專項基金資助項目(2009ZX02205)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言高精度的光刻投影物鏡具有較高的成像分辨力、較小的系統(tǒng)波像差和畸變,對光學(xué)元件的制造公差、裝配公差以及像差補(bǔ)償能力等方面均提出了很高的要求[1]。光學(xué)元件的面形精度作為元件制造公差和裝配公差的重要指標(biāo),需要保證重力、熱載荷等工況下鏡片的面形RMS值優(yōu)于1~2 nm,

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本文編號：1160223