本文關鍵詞：基于偏振態(tài)空間調制的緊湊型偏振光譜儀

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【摘要】：提出并實現(xiàn)了一種緊湊型偏振光譜儀,該儀器采用光譜儀陣列,使測量光譜范圍覆蓋可見光波段;采用部分平行光路設計,簡化了測量配置和系統(tǒng)校準方法;運用入射面旋轉效應,實現(xiàn)了偏振態(tài)的空間并行調制,減少了測量時間.對多組樣品測量的結果證明了該緊湊型偏振光譜儀測量的準確性.由于測量速度快、結構簡單且易于在線集成,該緊湊型偏振光譜儀作為一種實時在線測量工具極具潛力.
【作者單位】： 華中科技大學數(shù)字制造裝備與技術國家重點實驗室;武漢頤光科技有限公司;
【基金】：基于散射場層析廣義橢偏儀的三維納米結構測量理論與方法(51475191) 基于MOEMS技術的微型光譜橢偏儀研制(2014BEC052) 基于穆勒矩陣橢偏實時測量的可控納米褶皺制備機理研究(2015CFB278) 納米光學測量技術與儀器創(chuàng)新群體(2015CFA005)~~
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： PACS:07.60.Rd引言偏振光學儀器是一種利用偏振光與偏振器件的作用,實現(xiàn)樣品物理量或者光束偏振態(tài)測量的非接觸式精密儀器,其主要包括光譜橢偏儀、偏振光譜儀和偏振儀等.其中光譜橢偏儀和偏振光譜儀利用已知偏振態(tài)的橢圓偏振光與待測樣品作用,檢測樣品反射或者透射前后的偏振

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