本文關(guān)鍵詞：基于偏振態(tài)空間調(diào)制的緊湊型偏振光譜儀

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【摘要】：提出并實(shí)現(xiàn)了一種緊湊型偏振光譜儀,該儀器采用光譜儀陣列,使測(cè)量光譜范圍覆蓋可見(jiàn)光波段;采用部分平行光路設(shè)計(jì),簡(jiǎn)化了測(cè)量配置和系統(tǒng)校準(zhǔn)方法;運(yùn)用入射面旋轉(zhuǎn)效應(yīng),實(shí)現(xiàn)了偏振態(tài)的空間并行調(diào)制,減少了測(cè)量時(shí)間.對(duì)多組樣品測(cè)量的結(jié)果證明了該緊湊型偏振光譜儀測(cè)量的準(zhǔn)確性.由于測(cè)量速度快、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且易于在線(xiàn)集成,該緊湊型偏振光譜儀作為一種實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量工具極具潛力.
【作者單位】： 華中科技大學(xué)數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;武漢頤光科技有限公司;
【基金】：基于散射場(chǎng)層析廣義橢偏儀的三維納米結(jié)構(gòu)測(cè)量理論與方法(51475191) 基于MOEMS技術(shù)的微型光譜橢偏儀研制(2014BEC052) 基于穆勒矩陣橢偏實(shí)時(shí)測(cè)量的可控納米褶皺制備機(jī)理研究(2015CFB278) 納米光學(xué)測(cè)量技術(shù)與儀器創(chuàng)新群體(2015CFA005)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： PACS:07.60.Rd引言偏振光學(xué)儀器是一種利用偏振光與偏振器件的作用,實(shí)現(xiàn)樣品物理量或者光束偏振態(tài)測(cè)量的非接觸式精密儀器,其主要包括光譜橢偏儀、偏振光譜儀和偏振儀等.其中光譜橢偏儀和偏振光譜儀利用已知偏振態(tài)的橢圓偏振光與待測(cè)樣品作用,檢測(cè)樣品反射或者透射前后的偏振

【相似文獻(xiàn)】

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