本文關(guān)鍵詞：基于MEMS加速度傳感器的位移檢測(cè)系統(tǒng)

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【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)對(duì)物體運(yùn)動(dòng)位移的檢測(cè),設(shè)計(jì)了一種以國(guó)產(chǎn)高精度MEMS電容式加速度傳感器MSCA3002為核心,24位高精度A/D轉(zhuǎn)換器ADS1255,高性能ARM處理器LM3S2B93為主控制器的位移檢測(cè)系統(tǒng),并詳細(xì)給出該系統(tǒng)的硬件電路及其軟件算法設(shè)計(jì)。系統(tǒng)將傳感器檢測(cè)到的物體運(yùn)動(dòng)的加速度,經(jīng)過積分算法轉(zhuǎn)換為物體運(yùn)動(dòng)位移。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:系統(tǒng)采樣精度高、速度快、誤差小,A/D轉(zhuǎn)換器對(duì)加速度信號(hào)的檢測(cè)精度能達(dá)到0.4%,積分后對(duì)位移的測(cè)量精度能控制在3%左右,很好地實(shí)現(xiàn)了對(duì)運(yùn)動(dòng)位移的檢測(cè)。
【作者單位】： 杭州電子科技大學(xué)電子信息學(xué)院;
【分類號(hào)】：TP212;TH822
【正文快照】： 0引言MEMS加速度傳感器具有精度高、靈敏度高、功耗低、體積小和線性度好等優(yōu)點(diǎn)[1],被廣泛應(yīng)用于振動(dòng)位移檢測(cè)、系統(tǒng)定位、機(jī)械測(cè)量等領(lǐng)域。如文獻(xiàn)[2]分析了MEMS加速度傳感器直接用于位移測(cè)量的可行性,并給出了一種濾波處理測(cè)量噪聲的方法。文獻(xiàn)[3]采用MEMS加速度傳感器,利用

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