本文關(guān)鍵詞：閃耀角可調(diào)微型可編程光柵的優(yōu)化設(shè)計與仿真模擬

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【摘要】：基于體硅微加工技術(shù),設(shè)計了一種閃耀角可調(diào)的微型可編程光柵,對該光柵進行優(yōu)化設(shè)計,并理論計算不同閃耀角、入射角條件下相對光強分布,采用COMSOL有限元仿真軟件模擬不同入射參量下遠場相對光強分布.結(jié)果表明:設(shè)計的可編程光柵有效反射面積占光柵總面積的83.63%,比表面微加工技術(shù)設(shè)計的光柵提高8%以上,最大工作閃耀角為6.84°;當532nm波長垂直入射時,0~10°閃耀角調(diào)制范圍內(nèi)最大衍射效率為96.67%.
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室;西北工業(yè)大學(xué)陜西省微納機電系統(tǒng)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 微型可編程光柵 閃耀角可調(diào) 硅微加工 微機電系統(tǒng) 衍射效率
【基金】：航空科學(xué)基金(No.2013ZC53036) 國家自然科學(xué)基金(No.51375400) 教育部新世紀優(yōu)秀人才支持計劃 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費重大項目培育基金(No.3102014JC02020504) 全國優(yōu)秀博士論文作者專項資金(No.201430)資助~~
【分類號】：TH74
【正文快照】： 率達80%等優(yōu)點,然而該光柵一經(jīng)制作完成,其光柵0　引言周期、閃耀角等結(jié)構(gòu)參量便無法改變,無法實現(xiàn)實時、光柵作為一種重要的光學(xué)元件在測試計量、多光動態(tài)測量,因此應(yīng)用受到了一定限制.近年來,基于微譜成像以及傳感等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用[1-5].傳統(tǒng)的機機電系統(tǒng)(Microelectrom，

本文編號：1124834