本文關(guān)鍵詞：基于柔度矩陣法的整體式XY光學(xué)微調(diào)整機構(gòu)研究

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【摘要】：研究一種用于光刻投影物鏡光學(xué)元件XY微調(diào)整的整體式柔性冗余并聯(lián)機構(gòu)。首先,給出了機構(gòu)組成和工作原理。然后,根據(jù)圓弧形單軸柔性鉸鏈參數(shù)介紹了柔度矩陣法。接著,基于該方法推導(dǎo)了機構(gòu)各個調(diào)整臂支鏈的柔度、機構(gòu)的輸出柔度、輸入柔度和位移輸入輸出比。最后,對機構(gòu)進(jìn)行了有限元分析、理論計算和實驗驗證。實驗結(jié)果證明:和有限元法相比,理論計算得到的機構(gòu)輸出柔度、輸入柔度、輸入輸出比偏差分別為16.272%、28.326%、31.126%。和測量實驗結(jié)果相比,理論計算得到的輸入輸出比偏差為15.212%。偏差主要由柔度矩陣法中的柔度系數(shù)并非絕對精確,并且忽略了鉸鏈之間連桿的柔度導(dǎo)致的。在±50 N的驅(qū)動力范圍內(nèi),機構(gòu)滿足調(diào)整行程±50μm的要求,鏡框上的最大應(yīng)力小于材料的屈服極限,調(diào)節(jié)引入的Tip/Tilt耦合誤差小于0.5″。該柔性XY調(diào)整機構(gòu)滿足光刻投影物鏡光學(xué)元件偏心補償要求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 光刻投影物鏡 微調(diào)整機構(gòu) 光機結(jié)構(gòu) 波像差
【基金】：國家科技重大專項基金(2009ZX02205)資助項目
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言柔性機構(gòu)是指在設(shè)計中采用大變形柔性元素輸出運動或力,而非全部采用剛性元件的一類機構(gòu)[1]。柔性機構(gòu)包括2種:一種是“具有集中柔度的全柔性機構(gòu)”,特征是用柔性運動副代替了全部的傳統(tǒng)運動副;另一種是“具有分布柔度的全柔性機構(gòu)”,特征是整個機構(gòu)中并無任何鉸鏈,柔性

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本文編號：1124475