發(fā)布時間：2017-10-29 23:20

  本文關(guān)鍵詞：曲率半徑干涉測量定焦誤差分析

  更多相關(guān)文章： 測量 干涉測量 光學球面 曲率半徑 定焦 離焦量 誤差分析

【摘要】：為了提高曲率半徑定焦準確度,從移相干涉儀,標準鏡頭透射波前誤差,被測光學元件表面面形誤差及調(diào)整誤差等方面出發(fā),分析影響干涉儀定焦準確度的各因素,并給出各誤差補償表達式.通過對比實驗發(fā)現(xiàn),在貓眼及共焦位置處調(diào)整誤差補償后,離焦量及曲率半徑測量結(jié)果的變化趨勢由近似線性變?yōu)殡S機變化,同時由離焦量引入的曲率半徑變化量由7.05μm減小為0.5μm.在曲率半徑干涉測量中,調(diào)整誤差為影響定焦準確度的主要誤差源,調(diào)節(jié)調(diào)整誤差可有效控制離焦量的變化,提高曲率半徑測量準確度.
【作者單位】： 中國科學院光電技術(shù)研究所;中國科學院大學;
【關(guān)鍵詞】： 測量 干涉測量 光學球面 曲率半徑 定焦 離焦量 誤差分析
【基金】：國家科技重大專項(No.XXXXXXXX)資助
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 0引言曲率半徑為光學元件的一個重要參量,其測量準確度直接影響光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量,曲率半徑的高準確度測量在光學精密測量領(lǐng)域具有重要意義[1-2].曲率半徑檢測方法有多種,傳統(tǒng)方法包括球徑儀法及樣板法,其測試方便,適合于現(xiàn)場檢驗,但測量準確度不高且均為接觸式測量,易造成被

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 周學海;;光學球面曲率半徑的測量[J];光學機械;1984年06期

2 王孝坤;鄭立功;;一種精確測量光學球面曲率半徑的方法[J];光學學報;2011年08期

3 李佳;邱麗榮;楊佳苗;劉大禮;趙維謙;;共焦元件測量系統(tǒng)數(shù)據(jù)處理中的高斯濾波算法[J];光學技術(shù);2013年02期

4 田志輝;史振廣;劉偉奇;楊懷江;隋永新;;曲率半徑的高精度測量及其不確定度[J];光學精密工程;2013年10期

5 苗二龍;張健;谷勇強;康玉思;劉偉奇;;用于光刻投影物鏡檢測的高精度菲佐干涉儀誤差分析[J];中國激光;2010年08期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳旭;袁文全;馮玉濤;王平;劉偉奇;;絕對檢驗參考鏡誤差分析與熱變形模型建立[J];光學學報;2011年02期

2 許偉;陳曉波;習俊通;;結(jié)構(gòu)光測量相位波動誤差補償方法研究[J];光學學報;2011年03期

3 曹宇婷;王向朝;邱自成;彭勃;;極紫外投影光刻掩模衍射簡化模型的研究[J];光學學報;2011年04期

4 張健;劉偉奇;王汝冬;康玉思;馮睿;魏忠倫;柳華;;自重變形對超高精度Fizeau干涉儀的光學性能影響[J];光學學報;2011年07期

5 王平;田偉;王汝冬;王立朋;隋永新;楊懷江;;旋轉(zhuǎn)支撐法去除元件面形測量的夾持誤差[J];光學學報;2011年08期

6 苗二龍;谷勇強;;溫度對Fizeau干涉儀測量重復性的影響[J];光學學報;2011年12期

7 宋偉紅;伍凡;侯溪;;基于單次旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)非對稱面形誤差絕對檢測技術(shù)研究[J];光學學報;2012年08期

8 王汝冬;田偉;王平;王立朋;;振動對面形測量誤差的影響分析[J];光學學報;2012年11期

9 齊克奇;向陽;;光刻物鏡波像差檢測平臺移相裝置的研制[J];光子學報;2012年12期

10 肖焱山;曹益平;武迎春;李洋;;基于傅里葉頻譜分析的相位測量輪廓術(shù)系統(tǒng)Gamma非線性校正方法[J];光學學報;2012年12期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 李銳鋼;;運用激光跟蹤儀測量離軸非球面離軸量的方法[A];中國空間科學學會2013年空間光學與機電技術(shù)研討會會議論文集[C];2013年

2 張忠玉;朱德燕;;用于超大口徑非球面檢測的4D干涉儀誤差分析[A];中國空間科學學會2013年空間光學與機電技術(shù)研討會會議論文集[C];2013年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 張宇;極紫外光刻物鏡系統(tǒng)波像差檢測技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

2 王道檔;高精度點衍射球面干涉檢測技術(shù)及系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2012年

3 蘇東奇;光學面形絕對檢測技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2013年

4 蘇志德;高精度干涉測量隨機移相技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2013年

5 谷勇強;投影光刻物鏡光學元件的離子束精修技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2013年

6 龐志海;離軸反射光學系統(tǒng)計算機輔助裝調(diào)技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（西安光學精密機械研究所）;2013年

7 黃雷;單頻激光干涉系統(tǒng)性能優(yōu)化及高精度測量技術(shù)研究[D];長春理工大學;2013年

8 刁曉飛;基于空間分離的高速外差激光干涉測量若干關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王東升;高精度球面面形絕對檢測方法研究[D];浙江大學;2011年

2 李勇;磨具彎曲成形法研磨拋物面時磨具磨料密度分布的研究[D];長春理工大學;2011年

3 白天明;球面磨具保形磨損高速研磨[D];長春理工大學;2004年

4 詹明媚;超高分辨率星載光學系統(tǒng)裝調(diào)檢測[D];福建師范大學;2013年

5 尹子;單頻激光干涉儀信號處理及其測量技術(shù)研究[D];長春理工大學;2013年

6 丁功明;基于夏克—哈特曼傳感器的波前檢測關(guān)鍵技術(shù)研究[D];合肥工業(yè)大學;2014年

7 田春德;磨具彎曲成形法研磨拋物面時工件廓形的確定[D];長春理工大學;2013年

8 文剛;Φ100mm高重復性波長移相干涉儀研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2013年

9 廖家勝;光學掃描型長程輪廓儀關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2013年

10 田繼偉;高精度激光差動共焦大曲率半徑測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];北京理工大學;2015年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王青;徐新華;;干涉儀測量球面曲率半徑的精度分析[J];東南大學學報(自然科學版);2009年S2期

2 王雅紅;不同數(shù)據(jù)采集方法對牛頓環(huán)測曲率半徑準確度的影響[J];物理與工程;2005年04期

3 周學海;;光學球面曲率半徑的測量[J];光學機械;1984年06期

4 林旭東;陳濤;明名;王建立;陳寶剛;董磊;;球面拼接鏡的相對曲率半徑測量[J];光學精密工程;2010年01期

5 楊李茗;葉海仙;;大口徑大曲率半徑光學元件的高精度檢測[J];光學精密工程;2011年06期

6 盧海平;劉偉奇;康玉思;魏忠倫;馮睿;付瀚毅;;超大視場頭盔顯示光學系統(tǒng)設(shè)計[J];光學精密工程;2012年05期

7 潘君驊;大口徑紅外成像系統(tǒng)的光學設(shè)計[J];光學學報;2003年12期

8 朱向冰;陳瑾;鄧善熙;付紹軍;;復雜分光儀器中的像差研究[J];光學學報;2006年01期

9 馬強;劉偉奇;李香波;康玉思;魏忠倫;馮睿;柳華;;點衍射干涉儀中小孔衍射波面誤差分析[J];光學學報;2008年12期

10 郝沛明;李可新;袁立銀;;帶有無光焦度校正板兩鏡系統(tǒng)的三級像差校正[J];光學學報;2011年02期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 許景波;高斯濾波器逼近理論與應用研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 周學海;;光學球面曲率半徑的測量[J];光學機械;1984年06期

2 劉中本;;光學表面長曲率半徑的測定[J];應用光學;1985年02期

3 顧寶華;透鏡加工中粗磨曲率半徑的確定[J];光學技術(shù);1988年04期

4 王延路;;特長曲率半徑球面反光鏡的磨制與檢測[J];應用光學;1991年06期

5 曹季;介紹一種粗磨曲率半徑的計算方法[J];光學技術(shù);1993年05期

6 沈祥華,康彥;鐲面鏡曲率半徑測量方法[J];光學技術(shù);1987年06期

7 汪春明;光學透鏡粗磨曲率半徑計算的新方法[J];光學技術(shù);1987年05期

8 趙悅;;精確測量表面的激光系統(tǒng)[J];應用光學;1993年06期

9 劉風生;;W柱面奻樣的洛氏硬度奻歐[J];計量工作;1966年05期

10 孫桂林;阮順全;楊峰;;用衍射法測量會聚光束的曲率半徑[J];西安工業(yè)大學學報;1993年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 楊甬英;卓永模;;大曲率半徑的非接觸數(shù)字化測量系統(tǒng)的研究[A];第九屆全國光學測試學術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2001年

2 仇智;陳磊;;干涉顯微鏡測量球面小曲率半徑[A];第十一屆全國光學測試學術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2006年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 田繼偉;高精度激光差動共焦大曲率半徑測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];北京理工大學;2015年

2 徐鵬;光柵尺測長式激光差動共焦曲率半徑測量系統(tǒng)[D];北京理工大學;2015年

，

本文編號：1115100