本文關(guān)鍵詞：曲率半徑干涉測量定焦誤差分析

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【摘要】：為了提高曲率半徑定焦準(zhǔn)確度,從移相干涉儀,標(biāo)準(zhǔn)鏡頭透射波前誤差,被測光學(xué)元件表面面形誤差及調(diào)整誤差等方面出發(fā),分析影響干涉儀定焦準(zhǔn)確度的各因素,并給出各誤差補(bǔ)償表達(dá)式.通過對比實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),在貓眼及共焦位置處調(diào)整誤差補(bǔ)償后,離焦量及曲率半徑測量結(jié)果的變化趨勢由近似線性變?yōu)殡S機(jī)變化,同時(shí)由離焦量引入的曲率半徑變化量由7.05μm減小為0.5μm.在曲率半徑干涉測量中,調(diào)整誤差為影響定焦準(zhǔn)確度的主要誤差源,調(diào)節(jié)調(diào)整誤差可有效控制離焦量的變化,提高曲率半徑測量準(zhǔn)確度.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測量 干涉測量 光學(xué)球面 曲率半徑 定焦 離焦量 誤差分析
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)(No.XXXXXXXX)資助
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 0引言曲率半徑為光學(xué)元件的一個重要參量,其測量準(zhǔn)確度直接影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量,曲率半徑的高準(zhǔn)確度測量在光學(xué)精密測量領(lǐng)域具有重要意義[1-2].曲率半徑檢測方法有多種,傳統(tǒng)方法包括球徑儀法及樣板法,其測試方便,適合于現(xiàn)場檢驗(yàn),但測量準(zhǔn)確度不高且均為接觸式測量,易造成被

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1115100