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  本文關鍵詞：一種正弦相位調(diào)制光纖干涉條紋相位穩(wěn)定方法

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【摘要】：為了消除環(huán)境因素(尤其是振動和溫度波動)在物體表面三維形貌測量中的影響,基于正弦相位調(diào)制(SPM)發(fā)展了一種光纖干涉條紋相位穩(wěn)定技術。利用馬赫-澤德光纖干涉儀結構和楊氏雙孔干涉原理實現(xiàn)高密度的余弦分布干涉條紋投射。利用兩光纖干涉臂端面的菲涅爾反射生成邁克爾遜干涉信號,由光電探測器(PD)檢測后送入相位控制系統(tǒng)。采用相位生成載波的方法提取干涉信號的相位,并將生成的補償信號閉環(huán)反饋給壓電陶瓷驅動器,與正弦相位調(diào)制信號相加后共同驅動壓電陶瓷,補償環(huán)境因素帶來的相位漂移,實現(xiàn)干涉條紋相位的穩(wěn)定。環(huán)境因素對條紋相位的影響低于57 mrad,實驗結果驗證了該方法可行性。
【作者單位】： 天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 正弦相位調(diào)制 光纖干涉 相位穩(wěn)定 閉環(huán)反饋
【基金】：國家863高技術計劃(2013AA102402)資助 國家自然科學基金(51275349)資助
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 0引言三維形貌測量技術是精密測量中的先進技術,在質量控制、CAD/CAM、逆向工程、機器視覺、醫(yī)學診斷、服裝設計以及自動導航等領域中占有重要的地位,是科學分析、工業(yè)控制、生物工程、生物醫(yī)學以及材料科學等方面進行科學研究的重要手段[1]。高精度的表面形貌干涉測量方法主

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本文編號：1115036