本文關(guān)鍵詞：一種正弦相位調(diào)制光纖干涉條紋相位穩(wěn)定方法

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【摘要】：為了消除環(huán)境因素(尤其是振動(dòng)和溫度波動(dòng))在物體表面三維形貌測(cè)量中的影響,基于正弦相位調(diào)制(SPM)發(fā)展了一種光纖干涉條紋相位穩(wěn)定技術(shù)。利用馬赫-澤德光纖干涉儀結(jié)構(gòu)和楊氏雙孔干涉原理實(shí)現(xiàn)高密度的余弦分布干涉條紋投射。利用兩光纖干涉臂端面的菲涅爾反射生成邁克爾遜干涉信號(hào),由光電探測(cè)器(PD)檢測(cè)后送入相位控制系統(tǒng)。采用相位生成載波的方法提取干涉信號(hào)的相位,并將生成的補(bǔ)償信號(hào)閉環(huán)反饋給壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,與正弦相位調(diào)制信號(hào)相加后共同驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷,補(bǔ)償環(huán)境因素帶來(lái)的相位漂移,實(shí)現(xiàn)干涉條紋相位的穩(wěn)定。環(huán)境因素對(duì)條紋相位的影響低于57 mrad,實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了該方法可行性。
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 正弦相位調(diào)制 光纖干涉 相位穩(wěn)定 閉環(huán)反饋
【基金】：國(guó)家863高技術(shù)計(jì)劃(2013AA102402)資助 國(guó)家自然科學(xué)基金(51275349)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言三維形貌測(cè)量技術(shù)是精密測(cè)量中的先進(jìn)技術(shù),在質(zhì)量控制、CAD/CAM、逆向工程、機(jī)器視覺(jué)、醫(yī)學(xué)診斷、服裝設(shè)計(jì)以及自動(dòng)導(dǎo)航等領(lǐng)域中占有重要的地位,是科學(xué)分析、工業(yè)控制、生物工程、生物醫(yī)學(xué)以及材料科學(xué)等方面進(jìn)行科學(xué)研究的重要手段[1]。高精度的表面形貌干涉測(cè)量方法主

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本文編號(hào)：1115036