本文關(guān)鍵詞：衍射光柵機械刻劃工藝?yán)碚摲治雠c實驗研究

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【摘要】：目前,"試刻劃"加工光柵的工藝模式耗時長、效率低,且機械刻劃光柵的槽形無法準(zhǔn)確預(yù)控。通過納米壓痕實驗對光柵刻劃鋁薄膜的微觀結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能進行了表征,采用DEFORM有限元分析軟件并結(jié)合正交試驗對成槽過程進行了研究,通過對數(shù)據(jù)進行極差分析和單因素影響規(guī)律實驗分析,建立了槽底角數(shù)學(xué)工藝模型。研究結(jié)果表明,光柵刻劃過程可轉(zhuǎn)化為楔體下壓過程,基于有限元模擬實驗的槽底角數(shù)學(xué)工藝模型可用。
【作者單位】： 長春理工大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 衍射光柵 有限元 正交試驗 模型 工藝 實驗
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51075042) 吉林省科技發(fā)展計劃資助項目(20080534) 長春理工大學(xué)科技創(chuàng)新基金資助項目(2021000422)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 0引言衍射光柵是航空、軍工等領(lǐng)域光譜儀器的核心元件。機械刻劃加工方式[1]在制作低刻線密度原刻衍射光柵方面具有獨特的優(yōu)勢。它是利用金剛石刻劃刀在鍍有金屬膜(如鋁膜)的基底上進行擠壓、拋光,形成光柵槽形的過程[2-3]。光柵機械刻劃已有近200年的歷史。目前,世界上光柵刻

【參考文獻】

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【相似文獻】

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本文編號：1105318