本文關(guān)鍵詞：光刻物鏡偏心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)抑制耦合誤差設(shè)計(jì)

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【摘要】：為了找出耦合誤差產(chǎn)生的根源,探討了柔性偏心機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方法.首先,給出了機(jī)構(gòu)組成和工作原理;然后,基于柔度矩陣法對(duì)機(jī)構(gòu)建模,分別推導(dǎo)了橋式位移放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、連接機(jī)構(gòu)的柔度;最后,綜合得到機(jī)構(gòu)的整體柔度.分析結(jié)果表明柔度矩陣法得到的輸出柔度理論值和有限元法得到的結(jié)果誤差為8.126%,機(jī)構(gòu)的一階固有頻率為73.78Hz.在40N的驅(qū)動(dòng)力范圍內(nèi),機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)66.466μm的行程,透鏡和機(jī)構(gòu)上的最大應(yīng)力分別為0.0711 MPa和235.22 MPa,Y/Z/RX/RY/RZ耦合誤差和X向行程的比分別為0.0543%、0.0082%、1.218×10-8rad/μm、1.870×10-7rad/μm、6.073×10-7rad/μm.調(diào)節(jié)后鏡片面形PV值優(yōu)于24nm,RMS值優(yōu)于5nm,并且主要為像散.通過合理的柔度設(shè)計(jì),機(jī)構(gòu)接近完全解耦,揭示了不合理的機(jī)構(gòu)剛度是產(chǎn)生調(diào)節(jié)耦合誤差的根源.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 耦合誤差 光刻 物鏡 偏心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 柔度矩陣法
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)基金(No.2009ZX02205)資助~~
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1-10022900引言投影物鏡是光刻機(jī)中的核心部件之一,隨著節(jié)點(diǎn)向小于30nm的方向發(fā)展,像差對(duì)物鏡成像質(zhì)量的影響越來越突出.光學(xué)元件的支撐結(jié)構(gòu)應(yīng)該能夠適應(yīng)外力和溫度變化等對(duì)光學(xué)面形造成的不利影響,如物鏡曝光時(shí)受到外部環(huán)境中溫度、氣壓變化的影響[1]和振動(dòng)干擾[2]等,光學(xué)元

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【相似文獻(xiàn)】

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