發(fā)布時(shí)間：2017-10-26 04:31

  本文關(guān)鍵詞：車載大口徑FSM用SiC反射鏡制備工藝研究

  更多相關(guān)文章： SiC反射鏡 制備工藝 面形精度 反射率

【摘要】：為了獲得高面形精度、高反射率的輕質(zhì)反射鏡,選用Si C為基底材料,對反射鏡的加工制備工藝進(jìn)行了深入研究。首先從車載大口徑FSM中平面反射鏡的應(yīng)用需求出發(fā),提出了反射鏡的主要設(shè)計(jì)指標(biāo)。然后,針對反射鏡的輕量化結(jié)構(gòu)采用反應(yīng)燒結(jié)法獲得鏡坯,并通過機(jī)械加工使其接近成型;繼而采用物理氣相沉積法對Si C反射鏡進(jìn)行表面改性處理,進(jìn)而采用古典拋光法對反射鏡進(jìn)行光學(xué)精加工;最后在反射鏡的工作表面鍍覆金反射膜。在完成車載大口徑FSM用Si C反射鏡的加工制備后,對反射鏡的面形精度和反射率進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)檢測。結(jié)果顯示:Si C反射鏡的面形精度(RMS值)優(yōu)于λ/30;對中波激光的反射率約為98.0%,對長波激光的反射率約為98.2%;均滿足車載大口徑FSM的應(yīng)用需求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： SiC反射鏡 制備工藝 面形精度 反射率
【基金】：吉林省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.201115123) “863”項(xiàng)目(No.2011AA7031024G)資助
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言快速反射鏡(fast steering mirror,FSM)作為精確控制光束傳播方向的光學(xué)裝置,具有響應(yīng)速度快、指向精度高和角度分辨力大等突出優(yōu)點(diǎn)[1-3]。目前已被廣泛應(yīng)用于激光通訊、圖像穩(wěn)定、自適應(yīng)光學(xué)和精密跟蹤等領(lǐng)域[4-6]。平面反射鏡作為FSM系統(tǒng)中的主要載荷與有效工作元件,其

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 高明輝,楊近松,何斌,吳清文,林潔瓊;超薄反射鏡支撐技術(shù)[J];光學(xué)技術(shù);2003年05期

2 徐凱源;李強(qiáng);劉昂;高波;何宇航;;大口徑標(biāo)準(zhǔn)鏡絕對面形精度傳遞方法[J];強(qiáng)激光與粒子束;2013年12期

3 王汝冬;田偉;王平;王立朋;隋永新;楊懷江;;溫度變化對膠粘結(jié)透鏡面形精度的影響[J];中國激光;2011年08期

4 郭永衛(wèi),楊世模,王慎,古學(xué)東;Φ1m平面鏡的力學(xué)分析及實(shí)驗(yàn)研究[J];光學(xué)技術(shù);2005年04期

5 劉永奇;吳金虎;胡明勇;馬驥;;1.5m級大口徑標(biāo)準(zhǔn)鏡面支撐系統(tǒng)的研究[J];光學(xué)技術(shù);2011年04期

6 ;[J];;年期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 傅家;TMT三鏡被動支撐技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

，

本文編號：1097042