本文關(guān)鍵詞：基于多次平移的平面絕對(duì)檢測仿真

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測 多次平移法 平面絕對(duì)測量 高精度面形檢測 仿真分析

【摘要】：將待測面形表示為多項(xiàng)式的和,通過分別沿x,y向多次平移待檢光學(xué)元件得到移動(dòng)前后待測元件面形差,采用最小二乘法擬合多項(xiàng)式系數(shù),得到待檢光學(xué)元件的絕對(duì)面形。推導(dǎo)了多次平移法的理論公式,并進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn),模擬了移動(dòng)次數(shù)、移動(dòng)間隔和采樣點(diǎn)數(shù)對(duì)測量精度的影響。仿真結(jié)果表明:待測平面與初始平面殘差圖的均方根值為5.118×10~(-13)λ,理論誤差達(dá)到高精度平面面形檢測要求。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;中國工程物理研究院研究生院;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 多次平移法 平面絕對(duì)測量 高精度面形檢測 仿真分析
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 光學(xué)元件的面形精度是影響高功率固體激光裝置輸出光束質(zhì)量的重要因素之一。作為光學(xué)元件加工和使用的“眼睛”,光學(xué)元件面形的高精度檢測越來越受到元件加工和使用部門的關(guān)注。目前,常用的光學(xué)元件面形檢測方法基本屬于相對(duì)檢測法,其測量結(jié)果僅能表征待測元件面形相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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3 林維豪;羅紅心;宋麗;張翼飛;王R，

本文編號(hào)：1096547