本文關(guān)鍵詞：慣性沖擊式壓電精密定位裝置的設(shè)計(jì)

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【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)對負(fù)載納米級的精密定位,提出了一種利用壓電材料作為驅(qū)動元件的三驅(qū)動足精密定位裝置。設(shè)計(jì)了基于慣性沖擊原理的精密定位裝置的結(jié)構(gòu),介紹了其具體工作過程,并對驅(qū)動足的工作過程進(jìn)行了理論分析。制作樣機(jī)并搭建了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),采用顯微鏡物鏡進(jìn)行了定位性能的測試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在鋸齒波電壓信號的驅(qū)動下,通過改變驅(qū)動電壓信號的占空比,該精密定位裝置能夠?qū)崿F(xiàn)所夾持負(fù)載的雙向直線運(yùn)動,當(dāng)電壓值為80 V;電壓頻率為80 Hz時,該裝置的位移分辨率可以達(dá)到100 nm的精度,且運(yùn)行平穩(wěn),工作性能良好,步距均勻,可以實(shí)現(xiàn)所夾持負(fù)載納米級的定位要求。
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu)力學(xué)與控制國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 壓電材料 精密定位 慣性沖擊 位移分辨率
【分類號】：TH703
【正文快照】： 近年來,隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步,各種電子設(shè)備、精密測量儀器等高新技術(shù)產(chǎn)品的發(fā)展,許多領(lǐng)域都迫切需要高精度、高分辨率、控制靈活的精密定位裝置,用以直接進(jìn)行工作或配合其它儀器設(shè)備完成高精度的精密定位。因此精密定位裝置的研究和設(shè)計(jì)在越來越廣泛的范圍內(nèi)得到人們的重視

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本文編號：1096535