本文關(guān)鍵詞：投影光刻物鏡波像差的公差分析方法

  更多相關(guān)文章： 成像光學(xué) 公差分析 波像差 投影光刻物鏡 補(bǔ)償器

【摘要】：為保證投影光刻物鏡的成像性能并降低制造成本,提出了一種更全面可靠的公差分析方法。該方法在以波像差均方根(RMS)值作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的傳統(tǒng)分析方法基礎(chǔ)上,添加波像差峰谷(P-V)值作為評(píng)價(jià)指標(biāo),并據(jù)此選擇合理的補(bǔ)償器組合。在系統(tǒng)波像差的RMS值和P-V值均滿(mǎn)足要求的情況下,采用了較少的補(bǔ)償器,從而有效地降低了系統(tǒng)的制造難度和成本。結(jié)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的一套90nm投影光刻物鏡進(jìn)行了公差分析和補(bǔ)償器優(yōu)選。結(jié)果表明,利用該方法選擇的7個(gè)補(bǔ)償器,使得系統(tǒng)在97.7%置信區(qū)間內(nèi),全視場(chǎng)波像差的RMS值≤0.0412λ,P-V值≤0.2469λ,滿(mǎn)足了90nm投影光刻物鏡的像質(zhì)要求。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院光電成像技術(shù)與系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 成像光學(xué) 公差分析 波像差 投影光刻物鏡 補(bǔ)償器
【基金】：國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng) 國(guó)家自然基金重點(diǎn)項(xiàng)目(60938003) 北京高等學(xué)校青年英才計(jì)劃項(xiàng)目資助課題
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言材料、加工和裝配等誤差會(huì)嚴(yán)重影響投影光刻物鏡的實(shí)際成像質(zhì)量[1],因此除了在物鏡設(shè)計(jì)階段盡可能地提高像質(zhì),還需要在實(shí)際制造過(guò)程中嚴(yán)格控制每項(xiàng)公差。但過(guò)于嚴(yán)格的公差會(huì)增加制造難度982和成本,甚至無(wú)法實(shí)現(xiàn)加工制造。因此,需要通過(guò)公差分析,添加像質(zhì)補(bǔ)償元件來(lái)放松公

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 芮小健,張幼楨;壓電陶瓷微位移器的實(shí)驗(yàn)研究[J];航空學(xué)報(bào);1995年03期

2 劉琳;張興德;賀誼亮;;基于蒙特卡洛模擬法的紅外光學(xué)系統(tǒng)公差分析[J];激光與紅外;2010年05期

3 李連進(jìn);光刻機(jī)鏡頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與裝配[J];天津理工學(xué)院學(xué)報(bào);2004年01期

4 崔玉國(guó),孫寶元,董維杰,楊志欣;基于納米定位的壓電陶瓷執(zhí)行器控制方法的研究進(jìn)展[J];中國(guó)機(jī)械工程;2003年02期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 許偉才;投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)與像質(zhì)補(bǔ)償[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王艷菊,張大彪;掃描隧道顯微鏡中的掃描驅(qū)動(dòng)器的特性改善[J];河北工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2001年02期

2 杜海濤;羅松保;汪亮;徐昌語(yǔ);;FTS-300快速刀具伺服系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)元件特性研究[J];航空精密制造技術(shù);2012年01期

3 楊元華;陳時(shí)錦;孫濤;趙清亮;程凱;;微結(jié)構(gòu)表面金剛石車(chē)削加工過(guò)程中快速伺服刀架的控制[J];航空學(xué)報(bào);2008年01期

4 史麗萍;王立晶;趙月容;;壓電效應(yīng)的高階效應(yīng)在傳感器、執(zhí)行器中的應(yīng)用研究[J];黑龍江水專(zhuān)學(xué)報(bào);2007年04期

5 潘在友;劉惠蘭;馮麗爽;邢濟(jì)武;;基于光杠桿原理測(cè)量壓電陶瓷壓電特性的方法[J];紅外與激光工程;2008年S1期

6 李迎;孫亞飛;;基于增量PID的壓電微位移器驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)開(kāi)發(fā)[J];測(cè)控技術(shù);2011年03期

7 孫紅云;;機(jī)床檢測(cè)及精度修正淺析[J];機(jī)床與液壓;2009年08期

8 陳洪芳;林虎;殷建杰;;數(shù)字式測(cè)高儀定位誤差的測(cè)量及補(bǔ)償[J];機(jī)電工程;2011年02期

9 馬記,吳月華,許e，

本文編號(hào)：1075069