本文關鍵詞：關于改善石英諧振器的溫度梯度及測溫方法的研究

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【摘要】：考慮到外界環(huán)境溫度變化對石英諧振器輸出的影響,提出了旨在減小石英諧振梁與外界環(huán)境溫度之間溫度梯度的結構設計和改進原則。一方面,通過傳熱學理論推導與ANSYS仿真建立了石英諧振器不同結構尺寸與溫度梯度之間的關系,驗證了該原則的有效性,并在此基礎上對結構進行了改進,設計了一種具有更小溫度梯度的石英諧振梁的結構。另一方面,提出了一種新型的間接測溫方法,為后續(xù)準確的溫度誤差補償工作建立條件。
【作者單位】： 微納測控與低維物理教育部重點實驗室慣性技術國防重點實驗室北京航空航天大學;
【關鍵詞】： 石英諧振器 熱傳導 溫度梯度 溫度誤差 結構改進 間接測溫方法
【基金】：長江學者和創(chuàng)新團隊發(fā)展計劃資助項目(IRT1203)
【分類號】：V241.4;TH811
【正文快照】： 0引言石英諧振器是石英振梁加速度計(VBA)的核心部件,其廣泛地應用于航空航天領域,也是微機電系統(tǒng)(MEMS)中應用最為廣泛的器件之一。在航天事業(yè)中,石英諧振器用于檢測衛(wèi)星的加速度大小,并作為反饋來調整衛(wèi)星的姿態(tài)以確保其安全性[1]。目前,投入生產(chǎn)使用的石英諧振器的種類繁多

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本文編號：1069870