本文關(guān)鍵詞：關(guān)于改善石英諧振器的溫度梯度及測溫方法的研究

  更多相關(guān)文章： 石英諧振器 熱傳導(dǎo) 溫度梯度 溫度誤差 結(jié)構(gòu)改進(jìn) 間接測溫方法

【摘要】：考慮到外界環(huán)境溫度變化對石英諧振器輸出的影響,提出了旨在減小石英諧振梁與外界環(huán)境溫度之間溫度梯度的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和改進(jìn)原則。一方面,通過傳熱學(xué)理論推導(dǎo)與ANSYS仿真建立了石英諧振器不同結(jié)構(gòu)尺寸與溫度梯度之間的關(guān)系,驗(yàn)證了該原則的有效性,并在此基礎(chǔ)上對結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn),設(shè)計(jì)了一種具有更小溫度梯度的石英諧振梁的結(jié)構(gòu)。另一方面,提出了一種新型的間接測溫方法,為后續(xù)準(zhǔn)確的溫度誤差補(bǔ)償工作建立條件。
【作者單位】： 微納測控與低維物理教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室慣性技術(shù)國防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室北京航空航天大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 石英諧振器 熱傳導(dǎo) 溫度梯度 溫度誤差 結(jié)構(gòu)改進(jìn) 間接測溫方法
【基金】：長江學(xué)者和創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(IRT1203)
【分類號】：V241.4;TH811
【正文快照】： 0引言石英諧振器是石英振梁加速度計(jì)(VBA)的核心部件,其廣泛地應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域,也是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中應(yīng)用最為廣泛的器件之一。在航天事業(yè)中,石英諧振器用于檢測衛(wèi)星的加速度大小,并作為反饋來調(diào)整衛(wèi)星的姿態(tài)以確保其安全性[1]。目前,投入生產(chǎn)使用的石英諧振器的種類繁多

【相似文獻(xiàn)】

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5 劉艷濤;馬劍平;;脈沖濺射技術(shù)制備石英諧振器的工藝研究[A];第九屆真空冶金與表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2009年

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本文編號：1069870