發(fā)布時(shí)間：2017-10-19 17:17

  本文關(guān)鍵詞：高精度平面絕對(duì)標(biāo)定

  更多相關(guān)文章： 測(cè)量 面形檢測(cè) 絕對(duì)標(biāo)定 液面 旋轉(zhuǎn)平移絕對(duì)標(biāo)定

【摘要】：在高精度面形檢測(cè)中,絕對(duì)標(biāo)定是提高檢測(cè)精度的重要方法。但在平面絕對(duì)標(biāo)定中,無(wú)論是經(jīng)典的三平板絕對(duì)檢測(cè)還是旋轉(zhuǎn)平移絕對(duì)檢測(cè)都無(wú)法對(duì)平面的power項(xiàng)進(jìn)行絕對(duì)標(biāo)定。而利用液面進(jìn)行絕對(duì)標(biāo)定雖然可以給出完整的平面標(biāo)定,但是液面易受環(huán)境影響,重復(fù)性難以提高,因此標(biāo)定精度往往不高。針對(duì)這一難題,利用Fizeau干涉儀,采用液面方法對(duì)平面的power項(xiàng)單獨(dú)進(jìn)行絕對(duì)標(biāo)定,結(jié)合旋轉(zhuǎn)平移絕對(duì)標(biāo)定方法對(duì)平面其他Zernike項(xiàng)進(jìn)行標(biāo)定,從而得到了完整的高精度的平面絕對(duì)標(biāo)定。不僅提高了檢測(cè)精度,也對(duì)平面進(jìn)行了完整的高精度標(biāo)定,大大提高了干涉儀的檢測(cè)精度。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 面形檢測(cè) 絕對(duì)標(biāo)定 液面 旋轉(zhuǎn)平移絕對(duì)標(biāo)定
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)(2009ZX02205-004)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在光學(xué)元件面形檢測(cè)中,基于干涉儀的干涉測(cè)量方法以其精度高、無(wú)損傷、測(cè)量迅速等優(yōu)點(diǎn),在高精度檢測(cè)領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。光學(xué)檢測(cè)的能力從側(cè)面也反映了一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或者光學(xué)車間的光學(xué)制造能力。Fizeau型干涉儀是目前應(yīng)用最為廣泛的面形檢測(cè)設(shè)備,其檢測(cè)結(jié)果反映了被測(cè)面

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 陳進(jìn)榜，宋德真，朱日宏，王青，陳磊，陳道炯;高精度、大口徑平面波像差標(biāo)準(zhǔn)──移相式數(shù)字平面干涉儀[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1995年04期

2 武旭華;夏江濤;肖韶榮;陳磊;;液面基準(zhǔn)法標(biāo)定干涉儀系統(tǒng)誤差[J];光子學(xué)報(bào);2010年03期

3 宋偉紅;伍凡;侯溪;;基于單次旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)非對(duì)稱面形誤差絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年08期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 徐榮偉;劉宏展;劉立人;;馬赫-曾德?tīng)栃拖嘁剖噶考羟懈缮鎯x[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2006年02期

2 陳道炯;單世寶;韋光輝;高春雨;;自適應(yīng)壓電式移相器的研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2006年07期

3 何宇航;柴立群;陳波;李強(qiáng);魏小紅;高波;;鏡面對(duì)稱法絕對(duì)測(cè)量中的誤差補(bǔ)償方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年04期

4 高波;李強(qiáng);劉昂;何宇航;柴立群;;基于迭代算法的兩平板互檢求解方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2014年12期

5 陳磊,王青,朱日宏;使用紅外干涉儀測(cè)量鍺材料折射率均勻性[J];中國(guó)激光;2005年03期

6 顏丙功;劉繼常;郭怡暉;;球墨鑄鐵激光表面淬火硬化深度的解析計(jì)算[J];激光技術(shù);2011年02期

7 溫承華;黃磊;張海濤;邱運(yùn)濤;鞏馬理;;大口徑低分辨率干涉圖的3維形貌還原方法[J];激光技術(shù);2011年02期

8 張艷微;蘇東奇;隋永新;楊懷江;;基于旋轉(zhuǎn)平均補(bǔ)償算法的旋轉(zhuǎn)非對(duì)稱面形絕對(duì)檢測(cè)[J];中國(guó)激光;2014年07期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 楊鵬;伍凡;侯溪;;旋轉(zhuǎn)非對(duì)稱項(xiàng)面形誤差絕對(duì)檢測(cè)的仿真分析[J];光電工程;2011年01期

2 張建鋒;曹學(xué)東;景洪偉;吳時(shí)彬;陰旭;;基于旋轉(zhuǎn)法的干涉儀系統(tǒng)誤差標(biāo)定[J];光電工程;2011年12期

3 武旭華;陳磊;王磊;;φ300mm干涉儀參考鏡的設(shè)計(jì)及測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2007年08期

4 徐晨;陳磊;;光學(xué)平面絕對(duì)檢驗(yàn)方法的研究[J];光學(xué)技術(shù);2006年05期

5 朱日宏，陳進(jìn)榜，王青，陳磊;移相干涉術(shù)的一種新算法：重疊四步平均法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1994年12期

6 苗二龍;張健;谷勇強(qiáng);康玉思;劉偉奇;;用于光刻投影物鏡檢測(cè)的高精度菲佐干涉儀誤差分析[J];中國(guó)激光;2010年08期

7 徐洋;唐鋒;王向朝;徐靜浩;范李立;程欣;;平面面形絕對(duì)檢驗(yàn)技術(shù)測(cè)量誤差分析[J];中國(guó)激光;2011年10期

8 朱郁蔥,楊國(guó)光,董太和;標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)面形的建立與絕對(duì)檢測(cè)[J];計(jì)量學(xué)報(bào);1989年04期

9 武旭華;陳磊;孫嬌芬;;用虛光柵移相莫爾條紋法測(cè)量光學(xué)元件的角度偏差[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2006年03期

10 董大年,楊國(guó)光,曹天寧,張躍進(jìn);用于光學(xué)表面檢測(cè)的數(shù)字波面干涉儀[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1987年03期

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 許春蘭;柯氏干涉儀的技術(shù)改造[J];工具技術(shù);2002年07期

2 曹曉君,張學(xué)軍,李艷紅;光纖點(diǎn)衍射干涉儀調(diào)整方法與條紋分析[J];光機(jī)電信息;2003年03期

3 孟克,包建新,劉鵬;光纖微分干涉儀檢測(cè)地下水管泄漏的方法[J];應(yīng)用科技;2005年05期

4 洪廣偉,賈波;用于多點(diǎn)測(cè)試的全光纖速度干涉儀研究[J];中國(guó)激光;2005年08期

5 周亞強(qiáng),皇甫堪;噪擾條件下數(shù)字式多基線相位干涉儀解模糊問(wèn)題[J];通信學(xué)報(bào);2005年08期

6 嚴(yán)高師,張志勇;探測(cè)微弱信號(hào)的雙楔形干涉儀的結(jié)構(gòu)分析[J];電子科技大學(xué)學(xué)報(bào);2005年05期

7 姜巍,陳林,何安,吳守東,徐敏,戴文峰,姚斌,李曄;一種用于脈沖等離子體電子密度測(cè)量的高靈敏度干涉儀[J];中國(guó)激光;2005年09期

8 周亞強(qiáng),陳翥,皇甫堪,孫仲康;噪擾條件下多基線相位干涉儀解模糊算法[J];電子與信息學(xué)報(bào);2005年02期

9 路建新;單玉生;周創(chuàng)志;湯秀章;;用于狀態(tài)方程測(cè)量的光學(xué)記錄速度干涉儀系統(tǒng)[J];原子能科學(xué)技術(shù);2006年02期

10 何祖斌;許喬;柴立群;鄧燕;;移相干涉儀的抗振技術(shù)研究進(jìn)展[J];光學(xué)技術(shù);2007年03期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 于杰;張海濤;;相移點(diǎn)衍射干涉儀重復(fù)性研究[A];第十四屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2012年

2 楊俊麒;鄒暉;胡毅;;延遲干涉儀原理及控制方法[A];2009年中國(guó)高校通信類院系學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2009年

3 別業(yè)廣;熊俊松;;德布羅意波及原子波干涉儀[A];湖北省物理學(xué)會(huì)、武漢物理學(xué)會(huì)2004’學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

4 王鳴;郭冬梅;;基于修正相移技術(shù)的激光自混合干涉儀[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國(guó)光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

5 耿生群;吳嗣亮;;載波相位誤差對(duì)干涉儀的影響及糾正方法[A];第三屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

6 劉景峰;李艷秋;劉克;;移相式點(diǎn)衍射干涉儀的幾個(gè)關(guān)鍵技術(shù)[A];2007'中國(guó)儀器儀表與測(cè)控技術(shù)交流大會(huì)論文集（一）[C];2007年

7 唐遠(yuǎn)河;郜海陽(yáng);段曉東;賈奇杰;屈歐陽(yáng);曹顯剛;;地基氣輝成像干涉儀的研制[A];第十四屆全國(guó)日地空間物理學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2011年

8 袁群;高志山;周宇軒;褚光;;基于數(shù)值模擬的點(diǎn)衍射干涉儀移相算法研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)大會(huì)摘要集[C];2011年

9 袁群;高志山;;點(diǎn)衍射干涉儀中高精度移相算法分析[A];第十三屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2010年

10 王輝;;點(diǎn)衍射干涉儀高重復(fù)性檢測(cè)支撐設(shè)備研制[A];第十三屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2010年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 王小龍;可在室溫下工作的量子干涉儀問(wèn)世[N];科技日?qǐng)?bào);2010年

2 胡勝友;華裔科學(xué)家發(fā)現(xiàn)新行星[N];大眾科技報(bào);2006年

3 通訊員　 胡勝友 記者　 李凝;華裔科學(xué)家發(fā)現(xiàn)一顆繞幼年恒星轉(zhuǎn)的行星[N];科技日?qǐng)?bào);2006年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 封皓;基于雙Mach-Zehnder干涉儀結(jié)構(gòu)的光纖管道安全預(yù)警系統(tǒng)建模及定位研究[D];天津大學(xué);2011年

2 施宇鋒;星載紅外光譜儀干涉分系統(tǒng)的控制技術(shù)研究[D];華中科技大學(xué);2012年

3 汪麗;干涉法大氣風(fēng)場(chǎng)探測(cè)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（西安光學(xué)精密機(jī)械研究所）;2007年

4 李振華;實(shí)現(xiàn)渦旋光束及光強(qiáng)圖樣調(diào)制的多孔干涉儀設(shè)計(jì)研究[D];山東師范大學(xué);2014年

5 陳偉;固體系統(tǒng)中電子糾纏的產(chǎn)生及探測(cè)[D];南京大學(xué);2014年

6 陳華;高精度面形檢測(cè)中環(huán)境擾動(dòng)因素分析[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 陶金泉;毫米波干涉儀信號(hào)處理研究[D];南京理工大學(xué);2009年

2 許靜靜;多普勒光纖速度干涉儀的研究[D];北京交通大學(xué);2011年

3 吳仁安;移相式紅外泰曼干涉儀的研究與應(yīng)用[D];南京理工大學(xué);2003年

4 劉玉圣;高精度線性衍射光柵干涉儀系統(tǒng)的研制[D];合肥工業(yè)大學(xué);2006年

5 張城;點(diǎn)衍射干涉儀關(guān)鍵器件設(shè)計(jì)與基準(zhǔn)波前分析[D];南京理工大學(xué);2014年

6 蓋宇龍;基于耦合諧振腔干涉儀的相位調(diào)制技術(shù)[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

7 莊嚴(yán);ф600mm干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的檢測(cè)與分析方法研究[D];南京理工大學(xué);2011年

8 朱曉亮;利用光纖馬赫曾德干涉儀實(shí)現(xiàn)的光學(xué)雙穩(wěn)性研究[D];黑龍江大學(xué);2007年

9 楊亞良;光纖插針三維形貌與幾何參數(shù)檢測(cè)干涉儀的研制[D];浙江大學(xué);2005年

10 楊珂;基于共光路干涉技術(shù)的光纖傳感系統(tǒng)研究[D];安徽大學(xué);2012年

，

本文編號(hào)：1062325