本文關(guān)鍵詞：適用于FSM系統(tǒng)的菱形微位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)

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【摘要】：為了增加壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速反射鏡的偏擺范圍,對(duì)菱形微位移放大機(jī)構(gòu)進(jìn)行了研究設(shè)計(jì)。首先介紹了菱形結(jié)構(gòu)的放大原理并利用變形能法分析了影響菱形結(jié)構(gòu)性能的關(guān)鍵參數(shù),然后建立了快速反射鏡系統(tǒng)要求與菱形結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求之間的聯(lián)系,并根據(jù)自行設(shè)計(jì)的快速反射鏡系統(tǒng)選擇了菱形結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵參數(shù),最后通過有限元仿真對(duì)菱形結(jié)構(gòu)和快速反射鏡系統(tǒng)進(jìn)行了模態(tài)分析并對(duì)快速反射鏡的偏擺范圍進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試。仿真與實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,快速反射鏡的偏擺范圍大于6′,低階諧振頻率約為400 Hz,滿足了快速反射鏡的系統(tǒng)要求。文中研究得出,菱形結(jié)構(gòu)的位移放大倍率與最大驅(qū)動(dòng)力是此消彼長(zhǎng)的兩個(gè)性能,可以通過合理調(diào)整菱形長(zhǎng)軸與菱形邊夾角以及菱形邊寬度使兩個(gè)性能同時(shí)滿足系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;激光與物質(zhì)相互作用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 快速反射鏡 壓電陶瓷 位移放大機(jī)構(gòu) 菱形結(jié)構(gòu)
【基金】：長(zhǎng)春市科技計(jì)劃項(xiàng)目(2013270)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言快速反射鏡[1-4](Fast Steering Mirror,FSM)作為精確控制光束指向的裝置,由于具有響應(yīng)速度快、工作帶寬大、指向精度高等突出優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于自由空間光通信[5]、激光雷達(dá)系統(tǒng)[6]、激光加工系統(tǒng)[7]和光電經(jīng)緯儀[8]等領(lǐng)域,近年來(lái)一直是國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。壓電陶瓷是快

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1062248