本文關(guān)鍵詞：極小孔徑衍射波前測(cè)試分析

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【摘要】：研制點(diǎn)衍射干涉儀時(shí),小孔的形貌和裝調(diào)誤差會(huì)對(duì)衍射波前質(zhì)量產(chǎn)生影響,故本文研究了采用相位復(fù)原對(duì)小孔衍射波前質(zhì)量進(jìn)行測(cè)評(píng)的方法。設(shè)計(jì)并搭建了衍射波前測(cè)試裝置,對(duì)光纖衍射波前進(jìn)行了測(cè)評(píng)實(shí)驗(yàn)。為了驗(yàn)證測(cè)試方法的有效性,分別對(duì)采集的衍射圖像與重構(gòu)的衍射圖像,以及測(cè)試獲得的振幅分布與理論計(jì)算獲得的振幅分布進(jìn)行了對(duì)比。結(jié)果顯示。采集圖像與重構(gòu)圖像之間的差異為0.32%,驗(yàn)證了采用相位復(fù)原技術(shù)進(jìn)行衍射波前測(cè)試方法的有效性。同時(shí),對(duì)干涉方法測(cè)量與相位復(fù)原結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,二者差異僅為0.001 4λRMS。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測(cè) 點(diǎn)衍射干涉儀 相位復(fù)原 衍射波前
【基金】：國家重大科技專項(xiàng)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言點(diǎn)衍射干涉儀是一種測(cè)量精度極高的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。它采用極小孔徑衍射作為測(cè)試基準(zhǔn)波前[1],可為高精密光刻投影物鏡的研制提供技術(shù)支持[2-4]。極高質(zhì)量球面衍射基準(zhǔn)波前是點(diǎn)衍射干涉儀實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的重要前提,因此對(duì)它進(jìn)行測(cè)評(píng)是點(diǎn)衍射干涉儀研制過程的重要環(huán)節(jié)之一。2

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 于杰;;用于相移點(diǎn)衍射干涉儀的加權(quán)最小二乘相位提取算法[J];中國光學(xué)與應(yīng)用光學(xué);2010年06期

2 張海濤;;基于光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的相移點(diǎn)衍射干涉儀建模[J];中國光學(xué)與應(yīng)用光學(xué);2010年06期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 邵衛(wèi)紅;楊甬英;陳曉鈺;劉東;沈亦兵;;點(diǎn)衍射干涉系統(tǒng)光學(xué)結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化研究[J];強(qiáng)激光與粒子束;2014年05期

2 王道檔;楊甬英;邵衛(wèi)紅;陳曉鈺;;球面干涉檢測(cè)中改進(jìn)的調(diào)整誤差校正方法[J];浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2012年10期

3 邵晶;馬冬梅;;基于相位復(fù)原技術(shù)測(cè)試高數(shù)值孔徑光學(xué)成像系統(tǒng)[J];應(yīng)用光學(xué);2013年01期

4 齊克奇;向陽;;光刻物鏡波像差檢測(cè)球面波發(fā)生裝置的研制[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2014年07期

5 代曉珂;金春水;于杰;;點(diǎn)衍射干涉儀波面參考源誤差及公差分析[J];中國光學(xué);2014年05期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 張宇;極紫外光刻物鏡系統(tǒng)波像差檢測(cè)技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

2 王道檔;高精度點(diǎn)衍射球面干涉檢測(cè)技術(shù)及系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2012年

3 邵晶;點(diǎn)衍射干涉儀基準(zhǔn)波前質(zhì)量測(cè)評(píng)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

4 盧增雄;相移點(diǎn)衍射干涉儀深亞納米精度參考波前研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

5 許嘉俊;點(diǎn)衍射干涉儀檢測(cè)技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 陳棟;基于液晶空間光調(diào)制的波前可控技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2011年

2 陳琛;基于FDTD方法的點(diǎn)衍射理論建模及分析研究[D];浙江大學(xué);2012年

3 周宇軒;鍍膜小孔點(diǎn)衍射干涉儀的設(shè)計(jì)與調(diào)試[D];南京理工大學(xué);2012年

4 褚光;點(diǎn)衍射干涉儀中小孔尺寸對(duì)衍射光強(qiáng)分布影響的研究[D];南京理工大學(xué);2012年

5 江浩;無透鏡相干衍射成像的理論和實(shí)驗(yàn)研究[D];山東師范大學(xué);2013年

6 張城;點(diǎn)衍射干涉儀關(guān)鍵器件設(shè)計(jì)與基準(zhǔn)波前分析[D];南京理工大學(xué);2014年

7 邵衛(wèi)紅;點(diǎn)衍射干涉檢測(cè)系統(tǒng)光學(xué)結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化及誤差分析研究[D];浙江大學(xué);2014年

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本文編號(hào)：1059702