本文關(guān)鍵詞：MEMS靜電驅(qū)動(dòng)器的場(chǎng)致電子發(fā)射效應(yīng)研究

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【摘要】：為研究MEMS靜電驅(qū)動(dòng)器的場(chǎng)電子發(fā)射效應(yīng),設(shè)計(jì)并加工了排斥驅(qū)動(dòng)器和平行板驅(qū)動(dòng)器兩種不同結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動(dòng)器,實(shí)驗(yàn)測(cè)試了電極間漏電流隨驅(qū)動(dòng)電壓的變化關(guān)系,驗(yàn)證了其滿足場(chǎng)發(fā)射效應(yīng)的FN理論公式,從而首次觀察到靜電排斥驅(qū)動(dòng)器的場(chǎng)致電子發(fā)射效應(yīng)。根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算得到了所設(shè)計(jì)的兩種MEMS靜電驅(qū)動(dòng)器的名義發(fā)射面積和場(chǎng)增強(qiáng)因子。由于器件自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特征,平行板驅(qū)動(dòng)器相對(duì)于排斥驅(qū)動(dòng)器具有更大的名義發(fā)射面積和更小的場(chǎng)增強(qiáng)因子。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： MEMS 靜電驅(qū)動(dòng)器 場(chǎng)致電子發(fā)射 場(chǎng)增強(qiáng)因子 名義發(fā)射面積 可靠性
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11403029,61071027) 國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)-中國(guó)工程物理研究院NSAF聯(lián)合基金項(xiàng)目(11176033)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 0引言微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)靜電驅(qū)動(dòng)器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、響應(yīng)快和零滯后等特點(diǎn)[1-2],可應(yīng)用于射頻MEMS、光MEMS領(lǐng)域,如可變電容、光開關(guān)等[3-4]。MEMS靜電驅(qū)動(dòng)器的失效機(jī)理和可靠性對(duì)它的廣泛應(yīng)用和商品化有極大影響,因而一直是學(xué)術(shù)界和工

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