發(fā)布時間：2017-10-18 19:04

  本文關(guān)鍵詞：MEMS靜電驅(qū)動器的場致電子發(fā)射效應(yīng)研究

  更多相關(guān)文章： MEMS 靜電驅(qū)動器 場致電子發(fā)射 場增強因子 名義發(fā)射面積 可靠性

【摘要】：為研究MEMS靜電驅(qū)動器的場電子發(fā)射效應(yīng),設(shè)計并加工了排斥驅(qū)動器和平行板驅(qū)動器兩種不同結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動器,實驗測試了電極間漏電流隨驅(qū)動電壓的變化關(guān)系,驗證了其滿足場發(fā)射效應(yīng)的FN理論公式,從而首次觀察到靜電排斥驅(qū)動器的場致電子發(fā)射效應(yīng)。根據(jù)測試結(jié)果計算得到了所設(shè)計的兩種MEMS靜電驅(qū)動器的名義發(fā)射面積和場增強因子。由于器件自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計特征,平行板驅(qū)動器相對于排斥驅(qū)動器具有更大的名義發(fā)射面積和更小的場增強因子。
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點實驗室;電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： MEMS 靜電驅(qū)動器 場致電子發(fā)射 場增強因子 名義發(fā)射面積 可靠性
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(11403029,61071027) 國家自然科學(xué)基金委員會-中國工程物理研究院NSAF聯(lián)合基金項目(11176033)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)靜電驅(qū)動器具有結(jié)構(gòu)簡單、功耗低、響應(yīng)快和零滯后等特點[1-2],可應(yīng)用于射頻MEMS、光MEMS領(lǐng)域,如可變電容、光開關(guān)等[3-4]。MEMS靜電驅(qū)動器的失效機理和可靠性對它的廣泛應(yīng)用和商品化有極大影響,因而一直是學(xué)術(shù)界和工

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1056606