本文關(guān)鍵詞：Φ300mm平面標(biāo)準(zhǔn)鏡高精度支撐關(guān)鍵技術(shù)

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【摘要】：為保證大口徑平面面形的高精度檢測(cè),必須對(duì)大口徑平面標(biāo)準(zhǔn)鏡自身的精度進(jìn)行嚴(yán)格控制。在考慮標(biāo)準(zhǔn)鏡自身重力的作用下,通過有限元方法仿真分析了不同粘膠位置以及不同鏡框支撐方式下參考面面形的變化。根據(jù)分析結(jié)果,設(shè)計(jì)了口徑300 mm的平面標(biāo)準(zhǔn)鏡支撐方式,鏡片采用12點(diǎn)粘膠與鏡框固定,鏡框下表面采用旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償?shù)姆绞綄ふ易顑?yōu)支撐方案。對(duì)加工完成的Φ300 mm平面標(biāo)準(zhǔn)鏡進(jìn)行了集成裝配,裝配結(jié)果顯示支撐引入的參考面面形變化約為1.294 nm[均方根(RMS)值],與仿真分析結(jié)果吻合,并且滿足大口徑平面檢測(cè)的檢測(cè)需求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)設(shè)計(jì) 光學(xué)檢測(cè) 平面標(biāo)準(zhǔn)鏡 有限元法 參考面面形
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)-02專項(xiàng)基金(2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著微電子加工制造業(yè)的發(fā)展,核心器件的刻線分辨率已經(jīng)由納米級(jí)向亞納米級(jí)逼近,刻線的分辨率主要取決于光刻物鏡的光學(xué)性能。要實(shí)現(xiàn)如此高的光刻分辨率,光刻投影物鏡的光學(xué)元件面形精度要達(dá)到納米量級(jí)[1]。這些高精度的面形一般是通過菲索干涉儀進(jìn)行檢測(cè)的,作為菲索干涉

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8 張聰e，

本文編號(hào)：1056560