本文關(guān)鍵詞：一種新型MEMS開(kāi)關(guān)微驅(qū)動(dòng)器研究與仿真

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【摘要】：介紹了一種基于光致形變聚合物材料的MEMS開(kāi)關(guān)微驅(qū)動(dòng)器。光致形變聚合物材料在光驅(qū)動(dòng)型微執(zhí)行器上的應(yīng)用具有體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)遙控等特點(diǎn)。根據(jù)MEMS的尺寸及性能要求建立開(kāi)關(guān)及微驅(qū)動(dòng)器模型,并得到所需最大驅(qū)動(dòng)力。通過(guò)計(jì)算得出具有一定尺寸光致形變薄膜的等效彎曲行為,并將其應(yīng)用到MEMS開(kāi)關(guān)微驅(qū)動(dòng)器上。運(yùn)用ANSYS對(duì)微驅(qū)動(dòng)器及閉鎖機(jī)構(gòu)仿真分析,根據(jù)仿真結(jié)果對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),確定了采用多層薄板結(jié)構(gòu)的方案,以滿足最大驅(qū)動(dòng)力要求。
【作者單位】： 中北大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 光致形變聚合物 MEMS 開(kāi)關(guān) 等效彎曲 微驅(qū)動(dòng)器 ANSYS
【分類號(hào)】：TH-39;TH703
【正文快照】： 0引言MEMS(Micro Electro-Mechanical System)是指在集成電路工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,集微傳感器、微型機(jī)構(gòu)、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件于一體的能完成某種特定功能的機(jī)械裝置或系統(tǒng)[1,2]。目前,MEMS技術(shù)因其具有微型化、集成化、多樣化、智能化等特

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