發(fā)布時(shí)間：2017-10-17 04:20

  本文關(guān)鍵詞：基于自導(dǎo)向位移放大過程的機(jī)械式柔性納米精度移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)機(jī)制研究

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【摘要】：提出了一種納米精度級(jí)的單軸柔性移動(dòng)平臺(tái)裝置。該裝置采用自導(dǎo)向位移放大機(jī)理,在緊湊結(jié)構(gòu)尺寸實(shí)現(xiàn)了高達(dá)厘米量級(jí)的行程范圍。其中,有傾角的雙模塊平行四邊形結(jié)構(gòu)在充當(dāng)移動(dòng)導(dǎo)向模塊的同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了位移放大效果,從而避免了串行連接。該裝置的結(jié)構(gòu)對(duì)稱性能夠減小連帶誤差和熱變形,從而提高定位精度。通過設(shè)計(jì)優(yōu)化框架對(duì)裝置的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,從而在保證預(yù)設(shè)行程范圍、應(yīng)力和結(jié)構(gòu)尺寸的情況下得到最大的共振頻率。并且通過對(duì)該裝置的有效性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果顯示,與其他相似尺寸平臺(tái)相比該裝置有更高的容積率。
【作者單位】： 內(nèi)蒙古建筑職業(yè)技術(shù)學(xué)院;東北林業(yè)大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 自導(dǎo)向 移動(dòng)平臺(tái) 納米精度 位移放大
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 0引言納米定位系統(tǒng)作為一個(gè)關(guān)鍵的組成部分,應(yīng)用在包括精密機(jī)械加工,掃描探針顯微鏡,納米操控技術(shù)和光刻等在內(nèi)的諸多領(lǐng)域[1-4]。近來為適應(yīng)生產(chǎn)和方便使用,納米定位系統(tǒng)需要在維持納米級(jí)分辨率的同時(shí)還要保證能夠提供足夠大的行程范圍,例如,實(shí)際的納米操控過程可能需要足夠大

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 劉曉e，

本文編號(hào)：1046767