本文關鍵詞：金屬基壓電掃描振鏡的設計與測試

  更多相關文章： 壓電掃描振鏡 光學掃描 諧振 有限元模擬

【摘要】：本文設計了一維金屬基壓電掃描振鏡并進行了性能測試.該振鏡利用金屬微鉸鏈梁將壓電振子的伸縮振動轉化為硅反射鏡的旋轉振動,具有掃描角度大、可靠性高、成本低廉的特點.首先,建立了壓電振鏡的有限元模型,通過模態(tài)分析和諧振響應分析得到了振鏡的諧振模態(tài)以及掃描角度極限隨鉸鏈梁尺寸和位置的變化關系.接著,制備了由壓電振子、鋼片基底和硅反射鏡組成的振鏡樣機.最后,對振鏡的幅頻特性進行了性能測試.結果表明:2 mm×2 mm的反射鏡在120V_(pp)的電壓驅動下可在諧振頻率5.34 k Hz處產生21°的掃描角度.隨著驅動電壓幅值的增加,一階扭轉諧振頻率會略微下降.振鏡樣機Q值達144,掃描角度與驅動電壓幅值呈線性關系.該振鏡具有較大的鏡面尺寸和掃描角度,制作工藝簡單、抗沖擊性能好,可滿足流式細胞掃描成像高分辨率和模塊化、批量化的應用需求.
【作者單位】： 中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術研究所;中國科學院生物醫(yī)學檢驗技術重點實驗室;
【關鍵詞】： 壓電掃描振鏡 光學掃描 諧振 有限元模擬
【基金】：國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)資助項目(2011AA02A106) 蘇州市應用基礎研究計劃資助項目(SYG201423)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 掃描振鏡是諸如激光掃描顯微鏡、激光掃描顯示器、激光打印機以及條形碼閱讀器等許多光學儀器中的關鍵部件,通常需要具備一維或者二維的掃描能力,滿足一定的掃描角度、掃描頻率和掃描分辨率的要求.同時根據應用場合需要考慮驅動電壓、體積重量、結構穩(wěn)定性、工藝兼容性、生產

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4 王傳t，

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