本文關(guān)鍵詞：雙探針原子力顯微鏡視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

  更多相關(guān)文章： 原子力顯微鏡(AFM) 雙探針 尺寸測(cè)量 對(duì)準(zhǔn) 視覺(jué)引導(dǎo)

【摘要】：傳統(tǒng)的原子力顯微鏡(AFM)受針尖形狀和放置方式的影響很難測(cè)量線條的寬度和兩個(gè)側(cè)壁的形狀,故本文提出采用雙探針對(duì)頂測(cè)量方案來(lái)消除AFM針尖形狀對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。介紹了一種基于機(jī)器視覺(jué)的雙探針原子力顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),該系統(tǒng)將兩個(gè)探針接觸到一起,實(shí)現(xiàn)了雙探針在三維方向上的對(duì)準(zhǔn)。系統(tǒng)采用具有亞微米級(jí)分辨率的鏡頭,配合高分辨率的CCD來(lái)獲得探針的清晰圖像,用于在水平和垂直兩個(gè)方向?qū)崟r(shí)監(jiān)控雙探針的運(yùn)動(dòng)情況。采用基于石英音叉式的自傳感自調(diào)節(jié)的原子力探針,無(wú)需外加光學(xué)探測(cè)系統(tǒng),縮小了系統(tǒng)體積,避免了雜散光對(duì)視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的干擾。最后對(duì)針尖進(jìn)行了亞像素邊緣提取,精確地獲取了探針之間的相對(duì)位置,實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)的雙探針對(duì)準(zhǔn)(1μm以內(nèi))。該結(jié)論由探針之間距離與幅度/相位曲線得到了驗(yàn)證。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院納米與新材料計(jì)量研究所;天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡(AFM) 雙探針 尺寸測(cè)量 對(duì)準(zhǔn) 視覺(jué)引導(dǎo)
【基金】：國(guó)家科學(xué)支撐計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2011BAK15B02)
【分類(lèi)號(hào)】：TH742.9
【正文快照】： 1引言原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)是掃描探針顯微鏡中的一種[1],它采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為位移驅(qū)動(dòng)元件,以近場(chǎng)力作為檢測(cè)對(duì)象。AFM由于可以測(cè)量導(dǎo)體和絕緣體表面,突破了掃描隧道顯微鏡只能測(cè)量導(dǎo)體的限制而得到了廣泛的應(yīng)用。另外,近場(chǎng)力的范圍很廣,如離子排

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 張佳心,楊寶才;火焰電子溫度的測(cè)量[J];工程熱物理學(xué)報(bào);1992年01期

2 ;我國(guó)掃描隧道顯微技術(shù)研發(fā)取得系列重要進(jìn)展[J];生命科學(xué)儀器;2007年11期

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本文編號(hào)：1044424