本文關(guān)鍵詞：用于子孔徑拼接干涉系統(tǒng)的機械誤差補償算法

  更多相關(guān)文章： 拼接干涉檢測 子孔徑拼接 機械定位誤差 補償算法 大口徑平面鏡

【摘要】：針對拼接干涉檢測系統(tǒng)機械定位精度引起的各子孔徑間的相對定位誤差,提出了含定位誤差補償項的全局最優(yōu)化拼接算法。介紹了該算法原理,從理論上分析了該算法擬合出的平移和旋轉(zhuǎn)定位系數(shù)的精度。結(jié)合MetroPro和Matlab軟件仿真模擬實驗,分析了機械定位誤差對拼接檢測精度的影響。實驗表明:擬合出的平移定位系數(shù)精度高于旋轉(zhuǎn)定位系數(shù)精度,與理論分析一致;相對于一般算法,該算法對機械誤差有較強的免疫力。在搭建的拼接檢測裝置上檢測了口徑為150mm的平面鏡,結(jié)果顯示:拼接結(jié)果與干涉儀直接檢測的全口徑相位殘差的分布峰谷值(PV)為0.015 30λ,均方根值(RMS)為0.001 570λ,得到的結(jié)果十分接近,驗證了該算法穩(wěn)定可靠,能夠合理有效地補償機械精度引起的子孔徑定位誤差。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 拼接干涉檢測 子孔徑拼接 機械定位誤差 補償算法 大口徑平面鏡
【基金】：國家科技重大專項資助項目(No.2009ZX02205)
【分類號】：TH744.3;TH161
【正文快照】： 2.中國科學(xué)院大學(xué),北京100049)1引言在光刻技術(shù)、天文光學(xué)、空間光學(xué)、慣性約束聚變(ICF)等高技術(shù)領(lǐng)域,大口徑光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛。大口徑光學(xué)系統(tǒng)中光學(xué)元件的制造需要高精度的檢測方法和儀器[1],其中,子孔徑拼接干涉檢測是一種高精度檢測大口徑光學(xué)元件的有效方法。相

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本文編號：1027580