本文關(guān)鍵詞：X-Y精密定位平臺的敏感函數(shù)逆前饋補償控制

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【摘要】：針對音圈電機驅(qū)動的X-Y定位平臺中穩(wěn)態(tài)誤差導致的系統(tǒng)定位精度較低的問題,提出了基于敏感函數(shù)逆的前饋補償控制方法。首先,采用頻域辨識方法建立了系統(tǒng)模型,基于終值定理推導出系統(tǒng)擾動和穩(wěn)態(tài)誤差的關(guān)系,并由此設(shè)計了敏感函數(shù)的逆模型來補償擾動對穩(wěn)態(tài)誤差的影響,從而提高系統(tǒng)精密定位性能。最后,在搭建的音圈電機驅(qū)動X-Y定位平臺上進行了不同運動行程的實驗研究。實驗結(jié)果表明:在行程為10μm,最大加速度為6mm/s2的微定位運動條件下,補償后的定位誤差可由2μm降低到0.2μm;在行程為10mm,最大加速度為6m/s2的宏定位運動條件下,定位誤差可由2μm降低到0.4μm。實驗結(jié)果驗證了本方法的有效性,為后續(xù)高精密伺服系統(tǒng)的研制提供了重要參考和設(shè)計依據(jù)。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學機械工程與應用電子技術(shù)學院;
【關(guān)鍵詞】： 音圈電機 精密定位平臺 敏感函數(shù) 前饋補償
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.61005066) 國家科技重大專項資助項目(No.2013ZX04008021)
【分類號】：TH703;TP273
【正文快照】： 1引言隨著自動控制技術(shù)和微型計算機的迅速發(fā)展,對各類自動控制系統(tǒng)的定位精度提出了越來越高的要求[1]。特別是在精密加工、精密測量、微電子工程等領(lǐng)域,除了要求定位平臺具備高定位精度和較大運動行程外,還要求其具有更高的快速響應能力[2]。為提高運動平臺的定位性能,有學

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本文編號：1015807