本文關(guān)鍵詞：輝光放電光譜激發(fā)源的射頻功率驅(qū)動及自動控制系統(tǒng)

  更多相關(guān)文章： 射頻 功率匹配 輝光放電 光譜儀 濺射 等離子體 可控硅

【摘要】：射頻輝光放電原子發(fā)射光譜儀(RF GD-OES)的顯著優(yōu)勢在于既能分析導體樣品,又能直接分析非導體固體樣品,在微納米非金屬涂鍍層材料的逐層分析領(lǐng)域有著廣泛應用。為此,介紹了射頻輝光放電光譜激發(fā)源采用的射頻功率電源及功率匹配器的工作原理,并結(jié)合雙向可控硅交流調(diào)壓技術(shù)研制了射頻電源的計算機自動控制系統(tǒng),給出了射頻輸出信號的計算機控制結(jié)果。采用本射頻功率驅(qū)動及自動控制系統(tǒng),結(jié)合自行研制的Grimm型輝光放電激發(fā)源,對有機防腐涂層樣品進行了濺射激發(fā),濺射效果良好。給出了濺射坑表面形貌圖以及顯微照片,經(jīng)實驗測得,逐層濺射速率為52.9 nm/s。采用本系統(tǒng)對1Cr18Ni9Ti不銹鋼標準樣品進行了分析精密度測試,Cr、Cu、Ti、Al元素測試結(jié)果相對標準偏差(RSD)均2.6%。
【作者單位】： 河北大學電子信息工程學院;瑞士柯帕斯服務有限公司北京代表處;
【關(guān)鍵詞】： 射頻 功率匹配 輝光放電 光譜儀 濺射 等離子體 可控硅
【基金】：國家自然科學基金(61440006) 河北省自然科學基金(B2014201008)~~
【分類號】：TH744.11
【正文快照】： 0引言1輝光放電等離子體原子發(fā)射光譜儀(GD-OES)是一種可以對材料表面進行濺射激發(fā)、并分析其成分的大型分析儀器。被測材料表面在直流高壓或射頻功率的作用下,產(chǎn)生輝光等離子體特征光譜,分析此光譜信息可對材料表面各元素進行定性、定量分析。由于對樣品表面的原子化是逐層進

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 宋慧敏;吳韋韋;崔巍;賈敏;金迪;梁華;;射頻放電等離子體氣動激勵特性的實驗研究[J];高電壓技術(shù);2014年07期

2 金鋒;焉迪;王志斌;李和平;葛楠;包成玉;;大氣壓射頻輝光放電阻抗特性的實驗研究[J];高電壓技術(shù);2013年07期

3 萬真真;王永青;李小佳;王海舟;;輝光放電光譜儀用高穩(wěn)定度高壓恒流源的研制[J];高電壓技術(shù);2010年03期

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 萬真真;輝光放電等離子體激發(fā)源驅(qū)動控制電路設(shè)計[D];河北大學;2006年

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王宇天;張百靈;李益文;樊昊;高嶺;莊重;;基于均勻模型的低氣壓電容耦合射頻放電特性研究[J];真空科學與技術(shù)學報;2016年07期

2 萬真真;王永清;施寧;周穎昌;唐予軍;王光磊;;輝光放電光譜激發(fā)源的射頻功率驅(qū)動及自動控制系統(tǒng)[J];高電壓技術(shù);2016年06期

3 張耘瑋;王衛(wèi)民;賈敏;宋慧敏;王蔚龍;李應紅;;低風速下射頻等離子體的輝光放電特性[J];高電壓技術(shù);2016年06期

4 李清泉;郝玲艷;;沿面介質(zhì)阻擋放電等離子體及其應用[J];高電壓技術(shù);2016年04期

5 車學科;聶萬勝;田希暉;陳慶亞;姜家文;;表面介質(zhì)阻擋放電等離子體誘導流場相似準則及應用[J];高電壓技術(shù);2016年03期

6 宋慧敏;賈敏;金迪;崔巍;吳云;;Electric and plasma characteristics of RF discharge plasma actuation under varying pressures[J];Chinese Physics B;2016年03期

7 張百靈;樊昊;李益文;陽鵬宇;高嶺;王宇天;;基于射頻放電一維模型的等離子體診斷[J];高電壓技術(shù);2015年12期

8 張遠濤;劉冰;葛蕾;;大氣壓射頻微等離子體放電結(jié)構(gòu)演化的粒子模擬[J];高電壓技術(shù);2014年10期

9 湯志勇;邱海鷗;鄭洪濤;;原子發(fā)射光譜分析[J];分析試驗室;2011年12期

10 萬真真;王永清;李小佳;王海舟;施寧;;直流輝光放電等離子體激發(fā)光源自動調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)[J];光譜學與光譜分析;2011年03期

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 張志;射頻電源自動阻抗匹配器的開發(fā)和實驗研究[D];東北大學;2008年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李軍;吳韋韋;宋慧敏;賈敏;金迪;;靜止空氣中重頻脈沖火花放電等離子體的氣動激勵特性[J];高電壓技術(shù);2013年07期

2 竹濤;李海蓉;袁鈺;劉玉潔;萬艷東;陳莎;;變頻電源下非平衡等離子體技術(shù)降解甲苯的實驗研究[J];高電壓技術(shù);2012年07期

3 金英;錢牧揚;任春生;王德真;;預電離大氣壓低溫等離子體射流及其在表面清洗中的應用[J];高電壓技術(shù);2012年07期

4 鄭其鋒;聶勇;顧大勇;黃彤文;童星;計建炳;;填充式介質(zhì)阻擋放電等離子體脫除硫酰氟的研究[J];高電壓技術(shù);2012年05期

5 盧新培;;等離子體射流及其醫(yī)學應用[J];高電壓技術(shù);2011年06期

6 李應紅;吳云;梁華;宋慧敏;賈敏;;提高抑制流動分離能力的等離子體沖擊流動控制原理[J];科學通報;2010年31期

7 鄭培超;王金梅;胡章芳;郝宏剛;王艷;;大氣壓微等離子體射流對聚酰亞胺薄膜的表面改性[J];高電壓技術(shù);2010年06期

8 高萍;劉剛;孫莉平;;IGBT過流保護實用整定方法研究[J];黑龍江電力;2009年05期

9 宋慧敏;李應紅;梁華;賈敏;廖明華;;μs脈沖等離子體氣動激勵特性的實驗研究[J];高電壓技術(shù);2009年07期

10 劉紅玉;沈誠;周陳儷;翁瑾怡;李戎;;等離子體技術(shù)在廢水處理中的應用[J];印染;2009年11期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 傅積，

本文編號：1014609